प्रस्तुत विधि बताती है कि माध्यमिक आयन मास स्पेक्ट्रोमेट्री से संबंधित माप कलाकृतियों को कैसे पहचानें और हल करें और साथ ही ठोस राज्य सामग्री में अशुद्धियों / डोपेंट के यथार्थवादी 3 डी वितरण प्राप्त करें।