Journal
/
화학
/
3D-реконструкция профиля глубины сегрегированных примесей с помощью масс-спектрометрии вторичных ионов
JoVE 신문
화학
This content is Free Access.
JoVE 신문 화학
3D Depth Profile Reconstruction of Segregated Impurities Using Secondary Ion Mass Spectrometry
Please note that all translations are automatically generated. Click here for the English version.

3D-реконструкция профиля глубины сегрегированных примесей с помощью масс-спектрометрии вторичных ионов

DOI:
10.3791/61065-v

•

07:10 min

•

April 29, 2020

•

, , , ,
1Łukasiewicz Research Network-Institute of Electronic Materials Technology

Chapters

  • 00:00Introduction
  • 00:57Defect Selective Etching
  • 02:09Scanning Electron Microscopy
  • 02:50Secondary Ion Mass Spectrometry
  • 05:34Results: Oxygen Counts in a Cuboid
  • 06:29Conclusion

Summary

자동 번역

자동 번역

Представленный метод описывает способы выявления и решения артефактов измерения, связанных с масс-спектрометрией вторичных ионов, а также получения реалистичных 3D-распределений примесей/легирующих добавок в твердотельных материалах.

Tags

3D Depth ProfileSegregated ImpuritiesSecondary Ion Mass SpectrometrySemiconductor TechnologyStructural DefectsEutectic MixtureDefect-selective EtchingGallium NitrideScanning Electron MicroscopySIMS Calibration

Article

Embed

플레이리스트에 추가

Usage Statistics

Related Videos

Анализируя Динамика белков с использованием водорода валютный масс-спектрометрии

Анализируя фотоокисления 2-пропанол уровня концентраций воздуха с помощью поля асимметричной ионной подвижности спектрометрии

HS-мно Assay для количественного определения белков клетки хозяина в области биофармацевтики белка по жидкостной хроматографии ионной подвижности QTOF масс-спектрометрии

Анализ реального времени дыхание с помощью вторичных Nanoelectrospray ионизации в сочетании с масс-спектрометрии высокого разрешения

Синтез и анализ масс-спектрометрии Oligo-peptoids

Метод подготовки эффективного образца для повышения углеводов Ион сигналов в Matrix с помощью лазерной десорбции/ионизации масс-спектрометрии

Крупномасштабные протеомики сверху вниз с использованием зоне капиллярного электрофореза тандем масс-спектрометрия

Высок объём и всеобъемлющей наркотиков наблюдения с помощью масс-спектрометрии многосегментные инъекций капиллярного электрофореза

Коррозионная обработка изображений в интерфейсе Metal-краски с использованием вторичной спектрометрии "время полета"

Ионная мобильность-массовая спектрометрия Методы для определения структуры и механизмов распознавания ионов металла и Redox деятельности металлических связывая олигопептиды

Read Article