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저압, 저온 플라즈마에서 플라즈마 전위 측정을 위한 Langmuir 프로브 및 방출 프로브 구축

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Building Langmuir Probes and Emissive Probes for Plasma Potential Measurements in Low Pressure, Low Temperature Plasmas

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저압, 저온 플라즈마에서 플라즈마 전위 측정을 위한 Langmuir 프로브 및 방출 프로브 구축

DOI:

10.3791/61804-v

•

08:10 min

•

May 25, 2021

•

Peixuan Li*¹, Noah Hershkowitz*¹, Gregory Severn*²

¹Department of Engineering Physics,University of Wisconsin, ²Department of Physics & Biophysics,University of San Diego

Chapters

00:00Introduction
00:47Building Langmuir Probes and Emissive Probes to Fit into a Vacuum Chamber
03:53Generation of Plasma
05:31Results: Langmuir Probe Measurements of the Plasma Potential near a Plasma Boundary
07:27Conclusion

Summary

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이 연구의 주요 목표는 Langmuir 프로브 및 발광 프로브에 익숙하지 않은 연구 그룹이 특히 플라즈마 경계 근처에서 플라즈마 진단으로 더 쉽게 사용할 수 있도록 하는 것입니다. 우리는 쉽게 구할 수 있는 재료와 공급품으로 프로브를 만드는 방법을 보여줌으로써 이를 수행합니다.

저압, 저온 플라즈마에서 플라즈마 전위 측정을 위한 Langmuir 프로브 및 방출 프로브 구축

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