हम घटना इलेक्ट्रॉन बीम-कमाल की स्थितियों के तहत इलेक्ट्रॉन-चैनलिंग घटनाओं का लाभ उठाकर अशुद्धियों और उनके रासायनिक राज्यों की साइट अधिभोग का आकलन करने के लिए मात्रात्मक माइक्रोएनालोसिस विधियों की एक सामान्य रूपरेखा प्रदान करते हैं, जो अल्पसंख्यक प्रजातियों, प्रकाश तत्वों, ऑक्सीजन रिक्तियों और अन्य बिंदु/लाइन/प्लानर दोषों से जानकारी को मज़बूती से निकालते हैं ।