Fabrication of Bi2Te3 and Sb2Te3 Thermoelectric Thin Films using Radio Frequency Magnetron Sputtering Technique

Nurfarhana Ahmad Musri; Yoganash Putthisigamany; Puvaneswaran Chelvanathan; Norasikin Ahmad Ludin; Nadhrah Md Yatim; Ubaidah Syafiq

doi:10.3791/66248

Deposition of Bi₂Te₃ and Sb₂Te₃ Thin Films on Glass Substrates via RF Sputtering

May 17, 2024

Fabrikasjon av Bi₂Te₃ og Sb₂Te₃ termoelektriske tynne filmer ved bruk av radiofrekvensmagnetron sputtering teknikk

00:45 min

•

Radio Frequency Magnetron Sputtering of Bi₂Te₃ and Sb₂Te₃ Thermoelectric Thin Films on Glass Substrates

03:39 min

•

Nurfarhana Ahmad Musri, Yoganash Putthisigamany, Puvaneswaran Chelvanathan, Norasikin Ahmad Ludin, Nadhrah Md Yatim, Ubaidah Syafiq

¹Solar Energy Research Institute (SERI),Universiti Kebangsaan Malaysia, ²Faculty of Science and Technology,Universiti Sains Islam Malaysia

Summary

Manuskriptet beskriver en protokoll for radiofrekvensmagnetronforstøvning av Bi₂Te₃ og Sb₂Te₃ termoelektriske tynne filmer på glasssubstrater, som representerer en pålitelig avsetningsmetode som gir et bredt spekter av applikasjoner med potensial for videreutvikling.

Deposition of Bi2Te3 and Sb2Te3 Thin Films on Glass Substrates via RF Sputtering

Fabrikasjon av Bi2Te3 og Sb2Te3 termoelektriske tynne filmer ved bruk av radiofrekvensmagnetron sputtering teknikk

Radio Frequency Magnetron Sputtering of Bi2Te3 and Sb2Te3 Thermoelectric Thin Films on Glass Substrates

Summary

Article

Deposition of Bi₂Te₃ and Sb₂Te₃ Thin Films on Glass Substrates via RF Sputtering

Fabrikasjon av Bi₂Te₃ og Sb₂Te₃ termoelektriske tynne filmer ved bruk av radiofrekvensmagnetron sputtering teknikk

Radio Frequency Magnetron Sputtering of Bi₂Te₃ and Sb₂Te₃ Thermoelectric Thin Films on Glass Substrates