SU – 8模具制造硕士准备硅片衬底上的SU – 8的主人是准备使用两个步骤的标准消极抵制光刻工艺。 被删除的硅片上的对准标记(位于外周边沿晶圆),使用这些结构的高度刀片超过实际设备结构。 硅片,然后用异丙醇清洗和干燥后的 N 2流。与胶带厚度小于最高的器件结构的支柱取代四边晶圆对准标记。 注:如果支柱的高度超?…
Shaikh Mohammed, J., Caicedo, H., Fall, C. P., Eddington, D. T. Brain Slice Stimulation Using a Microfluidic Network and Standard Perfusion Chamber. J. Vis. Exp. (8), e302, doi:10.3791/302 (2007).