Journal
/
Engineering
/
Real-Time DC-dynamisk Prioritering Metode til Switching Time Forbedring Alvorligt Underdamped Fringing-felt Elektrostatiske MEMS aktuatorer
JoVE Journal
Engineering
A subscription to JoVE is required to view this content.  Sign in or start your free trial.
JoVE Journal Engineering
Real-Time DC-dynamic Biasing Method for Switching Time Improvement in Severely Underdamped Fringing-field Electrostatic MEMS Actuators

Real-Time DC-dynamisk Prioritering Metode til Switching Time Forbedring Alvorligt Underdamped Fringing-felt Elektrostatiske MEMS aktuatorer

DOI:
10.3791/51251-v

•

11:44 min

•

August 15, 2014

•

, , , ,
1Department of Electrical and Computer Engineering,University of California, Davis, 2Digital Light Projection (DLP) Technology Development,Texas Instruments, 3Birck Nanotechnology Center and the Department of Electrical and Computer Engineering,Purdue University

Chapters

  • 00:05Title
  • 01:08Fabrication of Electrostatic Fringing-field Actuated (EFFA) MEMS Fixed-fixed Beams
  • 08:28Experimental Validation of Dynamic Waveform Biasing
  • 10:23Results: Measured Pull-down and Released States of a MEMS Bridge
  • 11:16Conclusion

Summary

Automatic Translation

Automatic Translation

Den robuste enhed design sløring-field elektrostatiske MEMS aktuatorer resultater i sagens natur lavt squeeze-film dæmpning forhold og lange bosætter tidspunkter, hvor du udfører rangering ved hjælp af konventionelle trin påvirke. Real-time skifte tid forbedring med DC-dynamiske kurver reducerer afvikling tid af sløring felt MEMS aktuatorer, hvor der skiftes mellem op-til-ned og nede-på-up stater.

Tags

Real-time DC-dynamic BiasingSwitching Time ImprovementUnderdamped Fringing-field Electrostatic MEMS ActuatorsFast Switching OperationSettling TimeTransient Applied Bias WaveformsMechanical Quality FactorSubstrate RemovalReliabilityStictionCharge PumpCMOS ProcessingExperimental ValidationSwitching Time Improvement

Article

Embed

ADD TO PLAYLIST

Usage Statistics

Related Videos

check_url/51251?article_type=v

Fabrication Processen med silikone-baserede Dielektriske Elastomer aktuatorer
check_url/51251?article_type=v

Kompakt Lens-mindre Digital Holografisk Microscope for MEMS Inspektion og karakterisering
check_url/51251?article_type=v

Free-form Light aktuatorer - Fabrikation og Kontrol af aktivering i Mikroskopisk Scale
check_url/51251?article_type=v

Fremstilling af 3D-carbon-mikroelektromekaniske systemer (C-MEMS)
check_url/51251?article_type=v

Design og karakterisering metode til effektiv Wide Range afstemmelige MEMS filtre
check_url/51251?article_type=v

Vækst og elektrostatisk/kemiske egenskaber af Metal/LaAlO3/SrTiO3 Heterostructures
check_url/51251?article_type=v

Fabrikation af bløde pneumatisk netværk aktuatorer med skrå kamre
check_url/51251?article_type=v

Optimeret tætnings proces og realtidsovervågning af glas-til-metal-tætnings strukturer
check_url/51251?article_type=v

Hurtig fremstilling af tynde, bløde pneumatiske aktuatorer og robotter
check_url/51251?article_type=v

In Situ Transmission Electron Mikroskopi med biasing og fremstilling af asymmetriske overliggere baseret på blandet faset en-VOx

Read Article