Journal
/
Engineering
/
Real-Time DC-dynamische Biasing Methode voor het omschakelen Tijd Verbetering Ernstig Underdamped Fringing-veld elektrostatische MEMS Aandrijvingen
JoVE Journal
Engineering
A subscription to JoVE is required to view this content.  Sign in or start your free trial.
JoVE Journal Engineering
Real-Time DC-dynamic Biasing Method for Switching Time Improvement in Severely Underdamped Fringing-field Electrostatic MEMS Actuators
Please note that all translations are automatically generated. Click here for the English version.

Real-Time DC-dynamische Biasing Methode voor het omschakelen Tijd Verbetering Ernstig Underdamped Fringing-veld elektrostatische MEMS Aandrijvingen

DOI:
10.3791/51251-v

•

11:44 min

•

August 15, 2014

•

, , , ,
1Department of Electrical and Computer Engineering,University of California, Davis, 2Digital Light Projection (DLP) Technology Development,Texas Instruments, 3Birck Nanotechnology Center and the Department of Electrical and Computer Engineering,Purdue University

Chapters

  • 00:05Title
  • 01:08Fabrication of Electrostatic Fringing-field Actuated (EFFA) MEMS Fixed-fixed Beams
  • 08:28Experimental Validation of Dynamic Waveform Biasing
  • 10:23Results: Measured Pull-down and Released States of a MEMS Bridge
  • 11:16Conclusion

Summary

Automatic Translation

Automatic Translation

Het robuuste apparaat ontwerp van fringing-veld elektrostatische MEMS actuatoren resultaten in inherent lage squeeze-film demping omstandigheden en lange afwikkeling keer bij het uitvoeren van schakelingen met behulp van conventionele stap voorspanning. Real-time schakeltijd verbetering met DC-dynamische golfvormen vermindert de afwikkeling van de tijd van fringing-veld MEMS aandrijvingen bij de overgang tussen de up-to-down en down-to-up toestanden.

Tags

Real-time DC-dynamic BiasingSwitching Time ImprovementUnderdamped Fringing-field Electrostatic MEMS ActuatorsFast Switching OperationSettling TimeTransient Applied Bias WaveformsMechanical Quality FactorSubstrate RemovalReliabilityStictionCharge PumpCMOS ProcessingExperimental ValidationSwitching Time Improvement

Article

Embed

ADD TO PLAYLIST

Usage Statistics

Related Videos

check_url/51251?article_type=v

Fabricageproces van siliconen gebaseerde diëlektrische Elastomer Actuators
check_url/51251?article_type=v

Compact Lens-less Digitale Holografische Microscoop voor MEMS Inspectie en karakterisering
check_url/51251?article_type=v

Free-form Light Actuators - Fabricage en Controle van de Aandrijving in microscopische schaal
check_url/51251?article_type=v

Fabricage van 3D Koolstof Micro-Elektromechanische Systemen (C-MEMS)
check_url/51251?article_type=v

Design en karakterisatie methodologie voor efficiënte Wide Range afstembare MEMS Filters
check_url/51251?article_type=v

Groei en elektrostatische fysico-chemische eigenschappen van metaal/LaAlO3/SrTiO3 Heterostructuren
check_url/51251?article_type=v

Fabricage van zachte pneumatische netwerk Actuators met schuine Chambers
check_url/51251?article_type=v

Geoptimaliseerd afdichtings proces en real-time bewaking van glas-naar-metaal afdichtings constructies
check_url/51251?article_type=v

Snelle fabricage van dunne zachte pneumatische aandrijvingen en robots
check_url/51251?article_type=v

In Situ Transmission Electron Microscopy met biasing en fabricage van asymmetrische dwarsbalken op basis van gemixte a-VOx

Read Article