Journal
/
Engenharia
/
Fabricage van uniforme nanoschaalholtes via Silicon Direct Wafer Bonding
JoVE Journal
Engenharia
É necessária uma assinatura da JoVE para visualizar este conteúdo.  Faça login ou comece sua avaliação gratuita.
JoVE Journal Engenharia
Fabrication of Uniform Nanoscale Cavities via Silicon Direct Wafer Bonding
Please note that all translations are automatically generated. Click here for the English version.

Fabricage van uniforme nanoschaalholtes via Silicon Direct Wafer Bonding

DOI:
10.3791/51179-v

•

10:32 min

•

January 09, 2014

•

, , , ,
1Department of Physics,The State University of New York at Buffalo, 2Joint Quantum Institute,University of Maryland, 3The National Institute of Standards and Technology, 4Cryogenics and Fluids Branch,NASA Goddard Space Flight Center, 5HRL Laboratories

Capítulos

  • 00:05Título
  • 01:54Bonding Preparation
  • 04:38Wafer Bonding
  • 08:04Results: Analysis of Bonded Wafers
  • 09:59Conclusion

Summary

Tadução automática

Tadução automática

Er wordt een methode beschreven voor het permanent verlijmen van twee siliciumwafels om een uniforme behuizing te realiseren. Dit omvat wafervoorbereiding, reiniging, RT-hechting en gloeiprocessen. De resulterende gebonden wafers (cellen) hebben uniformiteit van de behuizing ~1%1,2. De resulterende geometrie maakt metingen van beperkte vloeistoffen en gassen mogelijk.

Tags

Keywords: Silicon Direct Wafer BondingNanoscale CavitiesConfined 4HeLambda TransitionUniform ConfinementThermal OxideLithographic PatterningRCA CleaningHigh-temperature AnnealingThermal And Hydrodynamic Properties

Article

Embed

ADICIONAR À PLAYLIST

Usage Statistics

Vídeos Relacionados

check_url/pt/51179?article_type=v

Fabricage en karakterisering van fotonische kristallen Slow lichtgolfgeleiders en holtes
check_url/pt/51179?article_type=v

Concurrent Kwantitatieve geleidbaarheid en mechanische eigenschappen metingen van organische fotovoltaïsche Materialen met AFM
check_url/pt/51179?article_type=v

Patroonvorming via Optical Verzadigbare Transitions - fabricage en karakterisering
check_url/pt/51179?article_type=v

Thermische Meettechnieken in Analytical Microfluïdische Devices
check_url/pt/51179?article_type=v

Voorgeschreven 3-D Direct Schrijven van Suspended Micron / Sub-micron schaal Fiber Structures via een Robotic doseersysteem
check_url/pt/51179?article_type=v

Oplosmiddel Bonding voor de productie van PMMA en COP microfluïdische apparaten
check_url/pt/51179?article_type=v

Een nieuwe methode voor<em> In situ</em> Elektromechanische Karakterisering van Nanoscale Exemplaren
check_url/pt/51179?article_type=v

Fabricage van magnetische nanostructuren op siliciumnitride membranen voor magnetische Vortex Studies met behulp van Transmission microscopie technieken
check_url/pt/51179?article_type=v

Fabricage van driedimensionale grafeen gebaseerde Polyhedrons via Origami-achtige zelf vouwen
check_url/pt/51179?article_type=v

Fabricage van robuust Nanoscale contact tussen een zilver Nanowire elektrode en CdS buffer Layer in Cu (in, ga) se2 dunne-film zonnecellen

Read Article