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その場での透過型電子顕微鏡での時間依存絶縁破壊：マイクロエレクトロニクスデバイスの故障メカニズムを理解することが可能

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その場での透過型電子顕微鏡での時間依存絶縁破壊：マイクロエレクトロニクスデバイスの故障メカニズムを理解することが可能

Article DOI: 10.3791/52447-v • 09:26 min • June 26th, 2015

June 26th, 2015 •

Zhongquan Liao^1,2, Martin Gall¹, Kong Boon Yeap^1,3, Christoph Sander¹, André Clausner¹, Uwe Mühle¹, Jürgen Gluch¹, Yvonne Standke¹, Oliver Aubel⁴, Armand Beyer⁴, Meike Hauschildt⁴, Ehrenfried Zschech^1,2

¹Fraunhofer Institute for Ceramic Technologies and Systems, ²Dresden Center for Nanoanalysis, Technische Universität Dresden, ³Globalfoundries Fab 8, ⁴Globalfoundries Fab 1

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Tags

工学、100号、時間依存絶縁破壊、信頼性、銅配線、分解速度、

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