Journal
/
/
Lys Enhanced Flussyre Acid Passivering: En følsom teknik til påvisning af Bulk Silicon Fejl
JoVE Journal
Engenharia
É necessária uma assinatura da JoVE para visualizar este conteúdo.  Faça login ou comece sua avaliação gratuita.
JoVE Journal Engenharia
Light Enhanced Hydrofluoric Acid Passivation: A Sensitive Technique for Detecting Bulk Silicon Defects
DOI:

09:15 min

January 04, 2016

Capítulos

  • 00:05Título
  • 01:02Cleaning and Etching the Silicon Wafers
  • 04:08Silicon Wafer Passivation and Photoconductive (PC) Measurement
  • 07:08Results: Silicon Wafer Photoconductive Measurement after Surface Passivation
  • 08:10Conclusion

Summary

Tadução automática

En RT væskeoverfladen passivering teknik til at undersøge rekombinationsaktivitet af bulk silicium defekter er beskrevet. For teknikken at være en succes, er tre kritiske trin kræves: (i) kemisk rensning og ætsning af silicium, (ii) neddypning af silicium i 15% flussyre og (iii) belysning til 1 min.

Vídeos Relacionados

Read Article