JoVE Journal
Engineering
Engineering
É necessário ter uma assinatura JoVE para assistir este Faça login ou comece sua avaliação gratuita.
Capítulos
Resumo
Please note that all translations are automatically generated.
We presenteren een compact reflectie digitale holografische systeem (CDHM) voor inspectie en karakterisering van MEMS. Een lens-less ontwerp met behulp van een divergerende ingang golf verstrekken van natuurlijke geometrische vergroting wordt aangetoond. Zowel statische als dynamische studies worden gepresenteerd.