JoVE Journal
Engineering
Engineering
É necessário ter uma assinatura JoVE para assistir este Faça login ou comece sua avaliação gratuita.
Capítulos
Resumo
Please note that all translations are automatically generated.
Vi presenterar en kompakt reflektion digitala holografiska systemet (CDHM) för inspektion och karakterisering av MEMS-enheter. En lins-mindre design med en divergerande ingång våg ger naturlig geometrisk förstoring visas. Både statiska och dynamiska studier presenteras.