Journal
/
Engenharia
/
שימוש של חלקיקים של הקורבן להסיר את ההשפעות של Shot-רעש חורים לתקשר מפוברק על ידי E-הקורה ליתוגרפיה
JoVE Journal
Engenharia
É necessária uma assinatura da JoVE para visualizar este conteúdo.  Faça login ou comece sua avaliação gratuita.
JoVE Journal Engenharia
Use of Sacrificial Nanoparticles to Remove the Effects of Shot-noise in Contact Holes Fabricated by E-beam Lithography
Please note that all translations are automatically generated. Click here for the English version.

שימוש של חלקיקים של הקורבן להסיר את ההשפעות של Shot-רעש חורים לתקשר מפוברק על ידי E-הקורה ליתוגרפיה

DOI:
10.3791/54551-v

•

07:47 min

•

February 12, 2017

•

,
1Department of Chemistry,Portland State University, 2Logic Technology Department,Intel Corporation

Capítulos

  • 00:05Título
  • 01:20Derivatization and Characterization of Silicon Wafer Surfaces
  • 02:14Gold Nanoparticle (GNP) Deposition into E-beam-patterned Holes
  • 03:46Pol(methyl methacrylate) (PMMA) Photoresist Reflow and Dry- and Wet-etching
  • 04:50Results: Reduction of Shot-noise by Deposition and Subsequent Etching of Sacrificial GNPs
  • 06:29Conclusion

Summary

Tadução automática

Tadução automática

באופן אחיד חלקיקים בגודל יכולים להסיר תנודות בממדי קשר חור בדוגמת פולי (methacrylate מתיל) (PMMA) סרטי photoresist על ידי קרן אלקטרונים (E-beam) ליתוגרפיה. התהליך כרוך תיעול אלקטרוסטטית חלקיקים במרכז הפקדה חורה קשר, ואחריו הזרמה מחדש photoresist ו פלזמה וצעדים רטוב-תחריט.

Tags

Sacrificial NanoparticlesShot-noiseE-beam LithographyContact HolesSub-20 Nanometer PatternsRCA CleaningAATMSPMMAGold NanoparticlesEvaporation

Article

Embed

ADICIONAR À PLAYLIST

Usage Statistics

Vídeos Relacionados

check_url/pt/54551?article_type=v

Micropunching ליתוגרפיה לייצור מיקרו submicron דפוסי פולימר על מצעים
check_url/pt/54551?article_type=v

לכידה אופטית של חלקיקים
check_url/pt/54551?article_type=v

תהליך של הפיכת Microstructures תלת ממדי באמצעות אידוי של רכיב של קורבן
check_url/pt/54551?article_type=v

ניתוח של ממשקי מגע עבור יחיד התקני Nanowire גן
check_url/pt/54551?article_type=v

חד שכבתי לתקשר סימום של משטחי סיליקון וNanowires שימוש בתרכובות זרחן אורגניות
check_url/pt/54551?article_type=v

ניתוח התנועה של Nauplius '<em> סלינה הארטמיה</em> "על ידי מנגנון עקיבה האופטי של Plasmonic חלקיקים
check_url/pt/54551?article_type=v

משטח משופר ראמאן ספקטרוסקופיה איתור של מולקולות ביולוגיות באמצעות EBL מצעי Nanostructured המפוברק
check_url/pt/54551?article_type=v

מאפייני electroactive פולימר החלקיקים מציגים photothermal
check_url/pt/54551?article_type=v

סריקת לימוד SQUID של מניפולציה וורטקס ידי לתקשר מקומי
check_url/pt/54551?article_type=v

באתרו הסינתזה של זהב חלקיקים ללא צבירה במרחב Interlayer של סרטים שקופים Titanate Layered

Read Article