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Fabricação de ressonadores anel de divisão Nanopillar-base para o deslocamento atuais mediada Ressonâncias em Terahertz Metamaterials

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Fabrication of Nanopillar-Based Split Ring Resonators for Displacement Current Mediated Resonances in Terahertz Metamaterials

Fabricação de ressonadores anel de divisão Nanopillar-base para o deslocamento atuais mediada Ressonâncias em Terahertz Metamaterials

DOI:

10.3791/55289-v

•

10:28 min

•

March 23, 2017

•

Chao Liu, Joseph Schauff, Seokhyeong Lee, Jeong-Hyun Cho

¹Department of Electrical and Computer Engineering,University of Minnesota

Capítulos

00:00Título
03:36Au Electroplating and ALD Al₂O₃
06:27Pattern C-shape SRRs
07:51Results: Au Nanopillar-based SRRs with 10 nm Al₂O₃ Gaps
09:40Conclusion

Summary

Tadução automática

Um protocolo para a concepção e fabricação de um novo ressonador anel de divisão com base em nanopillar (SRR) é apresentado.

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Keywords: Nanopillar Split Ring Resonator Terahertz Metamaterials Displacement Current Gold Electroplating Atomic Layer Deposition High Quality Factor Frequency Shift Sensors Frequency-agile Devices Microfabrication High Aspect Ratio Nanostructures

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