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Diseño y metodología de caracterización para filtros de MEMS Tunable eficiente toda la gama
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Capítulos
- 00:00Título
- 02:51Selecting and Designing Optimum Structure
- 03:31Modeling and Fabrication on CMOS
- 05:39Device Testing: Thermal Camera Test for Embedded Heaters
- 06:27Device Testing: Calibrating LDV and Test Setup
- 09:19Device Testing: Testing 68μm Long MEMS Filters via LDV
- 10:32Device Testing: Higher Mode Measurement
- 11:01Avoiding Device Failures
- 11:45Avoiding Failures: High Thermal Stress and Burning
- 12:10Boosting The Tuning Capability
- 13:16Resultados
- 14:07Conclusion
Se presenta un protocolo para un diseño de viga fija fija usando un Vibrómetro Doppler láser (LDV), incluyendo la medición de la frecuencia de sintonización, modificación de ajuste de capacidad y ausencia de fallo del dispositivo y cohesión. Se demuestra la superioridad del método LDV sobre el analizador de red debido a su mayor capacidad de modo.
