Journal
/
/
Fabrikation af Schottky Dioder på Zn-polar BeMgZnO/ZnO Heterostructure vokset med Plasma-assisteret molekylære Beam Epitaxy
JoVE Journal
Engenharia
This content is Free Access.
JoVE Journal Engenharia
Fabrication of Schottky Diodes on Zn-polar BeMgZnO/ZnO Heterostructure Grown by Plasma-assisted Molecular Beam Epitaxy
DOI:

14:16 min

October 23, 2018

, , , , ,

Capítulos

  • 00:04Título
  • 01:01Growth and Preparation of GaN Template by Metal-Organic Chemical Vapor Deposition (MOCVD)
  • 04:42Molecular Beam Epitaxy (MBE) Growth of BeMgZnO/ZnO Heterostructures
  • 08:35Schottky Diode Fabrication
  • 10:09Results: Characterization of Zn-Polar Be0.02Mg0.26ZnO/ZnO Heterostructures and Ag/Be0.02Mg0.26ZnO/ZnO Schottky Diodes
  • 12:07Conclusion

Summary

Tadução automática

Opnåelse af høj kvalitet Schottky kontakter er afgørende for at opnå effektiv gate graduering i heterostructure field effect transistorer (HFETs). Vi præsenterer fabrikationsanlæg metode og karakteristika af Schottky Dioder på Zn-polar BeMgZnO/ZnO heterostructures med high-density to dimensionelle elektron gas (2DEG), dyrket af plasma-assisteret molekylære stråle epitaxy på GaN skabeloner.

Vídeos Relacionados

Read Article