Journal
/
Engenharia
/
עיבוד SiO2/סי משטחים אומניפובי על ידי גילוף מיקרוטקסטורות גז-מיקרו הכוללת חללים מחדש ושני עמודים
JoVE Journal
Engenharia
This content is Free Access.
JoVE Journal Engenharia
Rendering SiO2/Si Surfaces Omniphobic by Carving Gas-Entrapping Microtextures Comprising Reentrant and Doubly Reentrant Cavities or Pillars
Please note that all translations are automatically generated. Click here for the English version.

עיבוד SiO2/סי משטחים אומניפובי על ידי גילוף מיקרוטקסטורות גז-מיקרו הכוללת חללים מחדש ושני עמודים

DOI:
10.3791/60403-v

•

08:02 min

•

February 11, 2020

•

, , , , , ,
1Water Desalination and Reuse Center (WDRC), Biological and Environmental Science and Engineering (BESE) Division,King Abdullah University of Science and Technology (KAUST), 2Core Labs,King Abdullah University of Science and Technology (KAUST)

Capítulos

  • 00:04Introduction
  • 01:08Cavity Design and Wafer Cleaning
  • 02:17Photolithography
  • 03:15Silica (SiO2) and Silicon (Si) Layer Etching
  • 04:30Thermal Oxide Growth and Etching
  • 06:00Results: Representative Wetting Behaviors of Gas-Entrapping Microtextures (GEMs)
  • 07:08Conclusion

Summary

Tadução automática

Tadução automática

עבודה זו מציגה פרוטוקולים microfabrication להשגת חללים ועמודים עם מחדש ופרופילים מחדש כפליים על SiO2/Si וופלים באמצעות פוטוגרפיה ותחריט יבש. משטחי מיקרו בעלי מרקם כתוצאה מראים דוחה נוזלי מדהים, מאופיין מלכודת חזקה לטווח ארוך של אוויר תחת נוזלי הרטבה, למרות wettability פנימית של סיליקה.

Tags

Keywords: SiO2/Si SurfacesOmniphobicGas-entrapping MicrotexturesReentrant CavitiesDoubly Reentrant CavitiesPillarsPhotolithographyDry EtchingMicrofabricationSilicon WaferThermal OxidePiranha SolutionHexamethyldisilazanePhotoresistSpin CoatingUV Exposure

Article

Embed

ADICIONAR À PLAYLIST

Usage Statistics

Vídeos Relacionados

check_url/pt/60403?article_type=v

חיטוט ומיפוי משטחי אלקטרודה דלק תאי תחמוצת מוצקות
check_url/pt/60403?article_type=v

ייצור ואפיון של מנחי גלים פוטוניים Crystal להאט את האור וחללים
check_url/pt/60403?article_type=v

ייצור של ננו מהונדס תחמוצות שקופות לנהל בתצהיר ליזר פעם
check_url/pt/60403?article_type=v

Velocimetry תמונת חלקיקים במהירות גבוהה ליד משטחים
check_url/pt/60403?article_type=v

חד שכבתי לתקשר סימום של משטחי סיליקון וNanowires שימוש בתרכובות זרחן אורגניות
check_url/pt/60403?article_type=v

ייצור חללים ננומטריים אחידים באמצעות מליטה וופל ישיר סיליקון
check_url/pt/60403?article_type=v

חלוף שדה בהתבסס Photoacoustics: הערכת נכס אופטית על משטחים
check_url/pt/60403?article_type=v

האבולוציה של ציפויי-פוליאסטר Nanoparticle סיליקה על משטחים חשופים לאור השמש
check_url/pt/60403?article_type=v

ברכת רותחים חום-העברת שיפור על גלילי משטחים עם דפוסי רטיבים היברידיים
check_url/pt/60403?article_type=v

עמודי רשת אבזור רך בתהליך הזרקה של רכיב 3D עם מיקרו

Read Article