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Preuve de concept pour les membranes d’enpiçage au gaz dérivées de L’eau-Aimant SiO2/Si/SiO2 Wafers pour le dessalement vert
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Proof-of-Concept for Gas-Entrapping Membranes Derived from Water-Loving SiO2/Si/SiO2 Wafers for Green Desalination
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Preuve de concept pour les membranes d’enpiçage au gaz dérivées de L’eau-Aimant SiO2/Si/SiO2 Wafers pour le dessalement vert

DOI:
10.3791/60583-v

•

09:39 min

•

March 01, 2020

•

, , , , , ,
1Water Desalination and Reuse Center (WDRC), Biological and Environmental Science and Engineering (BESE) Division,King Abdullah University of Science and Technology (KAUST), 2Core Labs,King Abdullah University of Science and Technology (KAUST)

Capítulos

  • 00:05Introduction
  • 01:04Wafer Cleaning, Hexamethyldisilane (HMDS) Deposition, and Lithography
  • 03:28Sputter, Photoresist Lift-off and Processing, Manual back Alignment, and Lithography on the Backside of the Wafer
  • 04:46Etching and Final Cleaning
  • 07:41Results: Immersing Silica-GEMs in Water
  • 09:02Conclusion

Summary

Tadução automática

Tadução automática

Présenté ici est un protocole étape pour la réalisation des membranes de piégeage des gaz (GEM) à partir de plaquettes SiO2/Si en utilisant la technologie intégrée de microfabrication de circuits. Lorsque les silice-GEM sont immergés dans l’eau, l’intrusion d’eau est empêchée, malgré la composition épris d’eau de la silice.

Tags

Gas-entrapping MembranesGEMsDesalinationMembrane DistillationPhotolithographyMicro-fabricationSilicon WaferSilicaHMDSPhotoresistUV ExposureMask AlignmentNegative ToneCross-linking

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