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ग्रीन विलवणीकरण के लिए पानी से प्यार करने वाले एसआईओ 2/एसआई/एसआईओ₂ वेफर्स से प्राप्त गैस-एनट्रैपिंग झिल्ली के लिए प्रूफ-ऑफ-कॉन्सेप्ट

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Proof-of-Concept for Gas-Entrapping Membranes Derived from Water-Loving SiO₂/Si/SiO₂ Wafers for Green Desalination

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ग्रीन विलवणीकरण के लिए पानी से प्यार करने वाले एसआईओ 2/एसआई/एसआईओ₂ वेफर्स से प्राप्त गैस-एनट्रैपिंग झिल्ली के लिए प्रूफ-ऑफ-कॉन्सेप्ट

DOI:

10.3791/60583-v

•

09:39 min

•

March 01, 2020

•

Ratul Das, Sankara Arunachalam, Zain Ahmad, Edelberto Manalastas, Ahad Syed, Ulrich Buttner, Himanshu Mishra

¹Water Desalination and Reuse Center (WDRC), Biological and Environmental Science and Engineering (BESE) Division,King Abdullah University of Science and Technology (KAUST), ²Core Labs,King Abdullah University of Science and Technology (KAUST)

Capítulos

00:05Introduction
01:04Wafer Cleaning, Hexamethyldisilane (HMDS) Deposition, and Lithography
03:28Sputter, Photoresist Lift-off and Processing, Manual back Alignment, and Lithography on the Backside of the Wafer
04:46Etching and Final Cleaning
07:41Results: Immersing Silica-GEMs in Water
09:02Conclusion

Summary

Tadução automática

यहां प्रस्तुत एकीकृत सर्किट माइक्रोफैब्रिकेशन प्रौद्योगिकी का उपयोग करके एसआईओ_{2/एसआई}वेफर्स से गैस-ट्रैपिंग झिल्ली (जीईएम) को साकार करने के लिए एक कदमका प्रोटोकॉल है । सिलिका-जीईएम पानी में डूबे होने पर सिलिका की पानी से प्यार करने वाली संरचना के बावजूद पानी की घुसपैठ को रोका जाता है।

Tags

Gas-entrapping Membranes GEMs Desalination Membrane Distillation Photolithography Micro-fabrication Silicon Wafer Silica HMDS Photoresist UV Exposure Mask Alignment Negative Tone Cross-linking

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