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Proof-of-Concept per le membrane che affliggiano il gas Derivate da SiO2/Si/SiO2 Wafers per la desalinizzazione verde
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Proof-of-Concept for Gas-Entrapping Membranes Derived from Water-Loving SiO2/Si/SiO2 Wafers for Green Desalination
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Proof-of-Concept per le membrane che affliggiano il gas Derivate da SiO2/Si/SiO2 Wafers per la desalinizzazione verde

DOI:
10.3791/60583-v

•

09:39 min

•

March 01, 2020

•

, , , , , ,
1Water Desalination and Reuse Center (WDRC), Biological and Environmental Science and Engineering (BESE) Division,King Abdullah University of Science and Technology (KAUST), 2Core Labs,King Abdullah University of Science and Technology (KAUST)

Capítulos

  • 00:05Introduction
  • 01:04Wafer Cleaning, Hexamethyldisilane (HMDS) Deposition, and Lithography
  • 03:28Sputter, Photoresist Lift-off and Processing, Manual back Alignment, and Lithography on the Backside of the Wafer
  • 04:46Etching and Final Cleaning
  • 07:41Results: Immersing Silica-GEMs in Water
  • 09:02Conclusion

Summary

Tadução automática

Tadução automática

Presentato qui è un protocollo graduale per la realizzazione di membrane di intrappolamento del gas (GEM) da Wafer SiO2/Si utilizzando la tecnologia integrata di microfabbricazione a circuito. Quando i GEIici sono immersi nell'acqua, l'intrusione dell'acqua viene prevenuta, nonostante la composizione amaro dall'acqua della silice.

Tags

Gas-entrapping MembranesGEMsDesalinationMembrane DistillationPhotolithographyMicro-fabricationSilicon WaferSilicaHMDSPhotoresistUV ExposureMask AlignmentNegative ToneCross-linking

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