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水を愛するSiO2 /Si/SiO₂ウェハーから得られるガス包み込み膜の概念実証

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Proof-of-Concept for Gas-Entrapping Membranes Derived from Water-Loving SiO₂/Si/SiO₂ Wafers for Green Desalination

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水を愛するSiO2 /Si/SiO₂ウェハーから得られるガス包み込み膜の概念実証

DOI:

10.3791/60583-v

•

09:39 min

•

March 01, 2020

•

Ratul Das, Sankara Arunachalam, Zain Ahmad, Edelberto Manalastas, Ahad Syed, Ulrich Buttner, Himanshu Mishra

¹Water Desalination and Reuse Center (WDRC), Biological and Environmental Science and Engineering (BESE) Division,King Abdullah University of Science and Technology (KAUST), ²Core Labs,King Abdullah University of Science and Technology (KAUST)

Capítulos

00:05Introduction
01:04Wafer Cleaning, Hexamethyldisilane (HMDS) Deposition, and Lithography
03:28Sputter, Photoresist Lift-off and Processing, Manual back Alignment, and Lithography on the Backside of the Wafer
04:46Etching and Final Cleaning
07:41Results: Immersing Silica-GEMs in Water
09:02Conclusion

Summary

Tadução automática

ここでは、集積回路微細加工技術を用いてSiO₂/Siウエハースからガス包絡膜(GEM)を実現するための段階的なプロトコルです。シリカ-GEMを水に浸すと、水を使うシリカの組成にもかかわらず、水の侵入が防止されます。

Tags

Gas-entrapping Membranes GEMs Desalination Membrane Distillation Photolithography Micro-fabrication Silicon Wafer Silica HMDS Photoresist UV Exposure Mask Alignment Negative Tone Cross-linking

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