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녹색 담수화용 수중 SiO 2/Si/SiO₂ 웨이퍼에서 파생된 가스 포획 멤브레인에 대한 개념 증명

JoVE Journal
Engenharia

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Proof-of-Concept for Gas-Entrapping Membranes Derived from Water-Loving SiO₂/Si/SiO₂ Wafers for Green Desalination

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녹색 담수화용 수중 SiO 2/Si/SiO₂ 웨이퍼에서 파생된 가스 포획 멤브레인에 대한 개념 증명

DOI:

10.3791/60583-v

•

09:39 min

•

March 01, 2020

•

Ratul Das, Sankara Arunachalam, Zain Ahmad, Edelberto Manalastas, Ahad Syed, Ulrich Buttner, Himanshu Mishra

¹Water Desalination and Reuse Center (WDRC), Biological and Environmental Science and Engineering (BESE) Division,King Abdullah University of Science and Technology (KAUST), ²Core Labs,King Abdullah University of Science and Technology (KAUST)

Capítulos

00:05Introduction
01:04Wafer Cleaning, Hexamethyldisilane (HMDS) Deposition, and Lithography
03:28Sputter, Photoresist Lift-off and Processing, Manual back Alignment, and Lithography on the Backside of the Wafer
04:46Etching and Final Cleaning
07:41Results: Immersing Silica-GEMs in Water
09:02Conclusion

Summary

Tadução automática

여기에 제시된 단계별 프로토콜은 집적 회로 미세 제조 기술을 사용하여SiO 2/Si 웨이퍼의 가스-포획 멤브레인 멤브레인(GEM)을 실현하기 위한 단계별 프로토콜입니다. 실리카-GEM이 물에 잠기면 물을 사랑하는 실리카의 조성에도 불구하고 물의 침입을 방지합니다.

Tags

Gas-entrapping Membranes GEMs Desalination Membrane Distillation Photolithography Micro-fabrication Silicon Wafer Silica HMDS Photoresist UV Exposure Mask Alignment Negative Tone Cross-linking

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