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Prova de conceito para membranas de enprisionamento de gás derivadas do SiO amante da água2/Si/SiO2 Wafers para dessalinização verde
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Proof-of-Concept for Gas-Entrapping Membranes Derived from Water-Loving SiO2/Si/SiO2 Wafers for Green Desalination

Prova de conceito para membranas de enprisionamento de gás derivadas do SiO amante da água2/Si/SiO2 Wafers para dessalinização verde

DOI:
10.3791/60583-v

•

09:39 min

•

March 01, 2020

•

, , , , , ,
1Water Desalination and Reuse Center (WDRC), Biological and Environmental Science and Engineering (BESE) Division,King Abdullah University of Science and Technology (KAUST), 2Core Labs,King Abdullah University of Science and Technology (KAUST)

Capítulos

  • 00:05Introduction
  • 01:04Wafer Cleaning, Hexamethyldisilane (HMDS) Deposition, and Lithography
  • 03:28Sputter, Photoresist Lift-off and Processing, Manual back Alignment, and Lithography on the Backside of the Wafer
  • 04:46Etching and Final Cleaning
  • 07:41Results: Immersing Silica-GEMs in Water
  • 09:02Conclusion

Summary

Tadução automática

Tadução automática

Apresentado aqui está um protocolo stepwise para a realização de membranas deaprisionação de gás (GEMs) a partir de wafers SiO 2/Si usando tecnologia integrada de microfabricação de circuitos. Quando os sílicas-GEMs estão imersos na água, a intrusão da água é evitada, apesar da composição aquática da sílica.

Tags

Gas-entrapping MembranesGEMsDesalinationMembrane DistillationPhotolithographyMicro-fabricationSilicon WaferSilicaHMDSPhotoresistUV ExposureMask AlignmentNegative ToneCross-linking

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