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Prueba de Concepto para Membranas Que Atrapa Gas Derivadas de SiO2/Si/SiO2 amante del agua para la desalinización verde
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Proof-of-Concept for Gas-Entrapping Membranes Derived from Water-Loving SiO2/Si/SiO2 Wafers for Green Desalination
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Prueba de Concepto para Membranas Que Atrapa Gas Derivadas de SiO2/Si/SiO2 amante del agua para la desalinización verde

DOI:
10.3791/60583-v

•

09:39 min

•

March 01, 2020

•

, , , , , ,
1Water Desalination and Reuse Center (WDRC), Biological and Environmental Science and Engineering (BESE) Division,King Abdullah University of Science and Technology (KAUST), 2Core Labs,King Abdullah University of Science and Technology (KAUST)

Capítulos

  • 00:05Introduction
  • 01:04Wafer Cleaning, Hexamethyldisilane (HMDS) Deposition, and Lithography
  • 03:28Sputter, Photoresist Lift-off and Processing, Manual back Alignment, and Lithography on the Backside of the Wafer
  • 04:46Etching and Final Cleaning
  • 07:41Results: Immersing Silica-GEMs in Water
  • 09:02Conclusion

Summary

Tadução automática

Tadução automática

Aquí se presenta un protocolo escalonado para la realización de membranas que atrapan gas (GEM) de siO2/Si utilizando tecnología de microfabricación de circuitos integrados. Cuando los FMde de sílice se sumergen en el agua, se evita la intrusión de agua, a pesar de la composición amante del agua de sílice.

Tags

Gas-entrapping MembranesGEMsDesalinationMembrane DistillationPhotolithographyMicro-fabricationSilicon WaferSilicaHMDSPhotoresistUV ExposureMask AlignmentNegative ToneCross-linking

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