Journal
/
Química
/
3D-diepteprofielreconstructie van gescheiden onzuiverheden met behulp van secundaire ionenmassaspectrometrie
JoVE Journal
Química
This content is Free Access.
JoVE Journal Química
3D Depth Profile Reconstruction of Segregated Impurities Using Secondary Ion Mass Spectrometry
Please note that all translations are automatically generated. Click here for the English version.

3D-diepteprofielreconstructie van gescheiden onzuiverheden met behulp van secundaire ionenmassaspectrometrie

DOI:
10.3791/61065-v

•

07:10 min

•

April 29, 2020

•

, , , ,
1Łukasiewicz Research Network-Institute of Electronic Materials Technology

Capítulos

  • 00:00Introduction
  • 00:57Defect Selective Etching
  • 02:09Scanning Electron Microscopy
  • 02:50Secondary Ion Mass Spectrometry
  • 05:34Results: Oxygen Counts in a Cuboid
  • 06:29Conclusion

Summary

Tadução automática

Tadução automática

De gepresenteerde methode beschrijft hoe meetartefacten met betrekking tot secundaire ionenmassaspectrometrie kunnen worden geïdentificeerd en opgelost, evenals het verkrijgen van realistische 3D-verdelingen van onzuiverheden/doteermiddelen in vastestofmaterialen.

Tags

3D Depth ProfileSegregated ImpuritiesSecondary Ion Mass SpectrometrySemiconductor TechnologyStructural DefectsEutectic MixtureDefect-selective EtchingGallium NitrideScanning Electron MicroscopySIMS Calibration

Article

Embed

ADICIONAR À PLAYLIST

Usage Statistics

Vídeos Relacionados

check_url/pt/61065?article_type=v

Het analyseren van Protein Dynamics gebruik van waterstof Exchange Massaspectrometrie
check_url/pt/61065?article_type=v

Analyseren van de foto-oxidatie van 2-propanol bij binnenlucht niveau concentraties met behulp van spectrometrie van de mobiliteit van veld asymmetrische Ion
check_url/pt/61065?article_type=v

Een HS-MRM Assay voor de kwantificering van de gastheercel eiwitten in Protein biofarmaceutica door vloeistofchromatografie Ion mobiliteit QTOF massaspectrometrie
check_url/pt/61065?article_type=v

Real-time adem analyse met behulp van secundaire Nanoelectrospray ionisatie gekoppeld aan massaspectrometrie voor hoge resolutie
check_url/pt/61065?article_type=v

Synthese en analyse van de Spectrometrie van de massa van Oligo-peptoids
check_url/pt/61065?article_type=v

Een efficiënte Sample voorbereiding methode om koolhydraten Ion signalen in Laser Matrix-bijgewoonde desorptie/ionisatie massaspectrometrie
check_url/pt/61065?article_type=v

Grootschalige topdown Proteomics met behulp van capillaire Zone elektroforese Tandem massaspectrometrie
check_url/pt/61065?article_type=v

High-throughput en uitgebreide Drug Surveillance met behulp van spectrometrie van de massa van het Multisegment injectie-capillaire elektroforese
check_url/pt/61065?article_type=v

Imaging corrosie bij de metaal verf-interface met behulp van tijd-of-Flight secundaire Ionenmassa spectrometrie
check_url/pt/61065?article_type=v

Ion Mobility-massaspectrometrie technieken voor het bepalen van de structuur en de mechanismen van metaalionen herkenning en redox activiteit van metaal bindende Oligopeptides

Read Article