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Article de méthode

Une plate-forme silicium pointe fibre optique télédétection haute résolution et une réponse rapide

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DOI :

10.3791/59026

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7 janvier 2019

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* These authors contributed equally

Dans cet article

Résumé

Ce travail rapporte une pointe silicone fibre optique télédétection plate-forme innovante (tr-FOSP) pour la mesure de haute résolution et d’intervention rapide d’une variété de paramètres physiques, notamment la température, de débit et de rayonnement. Les applications de cette Si-FOSP allant de recherche océanographique, industrie mécanique, à l’énergie de fusion.

Résumé

Dans cet article, nous présentons une novateur et prometteuse pratiquement fibre optique plate-forme de télédétection (FOSP) qui nous a proposé et a démontré récemment. Cette FOSP s’appuie sur un interféromètre de Fabry-Perot de silicium (FPI) attaché à l’extrémité de la fibre, dénommée Si-FOSP dans cet ouvrage. Le Si-FOSP génère un interférogramme déterminée par la longueur du trajet optique (OPL) de la cavité de silicium. Mesurande modifie l’OPL et déplace ainsi l’interférogramme. En raison des propriétés optiques et thermiques uniques du matériau silicium, cette Si-FOSP présente un rendement avantageux en termes de sensibilité et la vitesse. En outre, l’industrie de fabrication de silicium mature dote de la Si-FOSP excellente reproductibilité et à moindre coût vers des applications pratiques. Selon les applications spécifiques, soit une version basse-finesse ou haute-finesse serviront, et deux méthodes de démodulation de différentes données seront adoptées en conséquence. Des protocoles détaillés pour fabriquer les deux versions de la Si-FOSP seront fournis. Trois applications représentatives et leurs résultats selon seront montrés. L’un est un thermomètre sous l’eau du prototype pour profiler les thermoclines océan, le second est un débitmètre pour mesurer la vitesse d’écoulement dans l’océan, et le dernier est un bolomètre utilisé pour le contrôle des gaz d’échappement émis par magnétiquement confiné plasma à haute température.

Introduction

Capteurs à fibre optique (FOSs) ont fait l’objet de nombreux chercheurs en raison de ses propriétés uniques, telles que sa petite taille, son faible coût, sa légèreté et son immunité aux interférences électromagnétiques (EMI)1. Ces logiciels libres ont trouvé des applications larges dans de nombreux domaines tels que la surveillance de l’environnement, surveillance de l’océan, exploration pétrolière et des procédés industriels entre autres. Quand il s’agit de la détection de liées à la température, le FOSs traditionnel ne sont pas supérieur en termes de résolution et la vitesse pour les cas où la mesure des minutes et des variations rapides de ....

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Protocole

1. fabrication de capteurs de basse-Finesse

  1. Fabriquer les piliers de silicium. Un morceau de tranche de silicium de (DSP) de double-côté-poli 200-µm d’épaisseur de mires en standalone piliers de silicium (Figure 2 a), à l’aide de fabrication standard système micro-électro-mécaniques (MEMS) facilite.
    Remarque : La plaquette à motifs est collée sur une autre plaquette de silicium plus gros à l’aide d’une fine couche de résine photosensible. La force de liaison de la résine photosensible est assez forte pour tenir les piliers verticaux, mais aussi assez faible pour détacher le substrat pour les étapes ultérieures.
  2. Prép....

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Résultats

Tr-FOSP comme un thermomètre sous l’eau pour le profilage des thermoclines océan
Recherche océanographique récente a démontré que le flou de l’imagerie sous-marine découle non seulement de turbidité dans les eaux contaminées, mais aussi de microstructures de température en propre océan17,18. Ce dernier effet a fait l’objet de nombreux océanographes, visant à trouver un moyen efficace pour corriger les images fl.......

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Discussion

Le choix de la taille (longueur et diamètre) du silicium FPI se fait sur le compromis entre les exigences sur la résolution et la vitesse. En général, une taille plus petite offre une vitesse plus élevée, mais réduit également la résolution2. Une courte longueur est avantageuse pour l’obtention d’une vitesse plus élevée, mais il n’est pas supérieur pour obtenir une haute résolution en raison de la FWHM élargi des entailles de la réflexion. À l’aide de revêtements HR pour réduire la FWHM peut aider.......

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Déclarations de divulgation

Un brevet américain (no 9995628 B1) a été publié pour protéger les technologies connexes.

Remerciements

Ce travail a été soutenu par l’US Naval Research Laboratory (Nos. N0017315P0376, N0017315P3755) ; U.S. Office of Naval Research (Nos. N000141410139, N000141410456) ; US Department of Energy (Nos. DE-SC0018273, DE-AC02-09CH11466, DE-AC05-00OR22725).

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Matériaux

Liste des matériaux utilisés dans cet article
NomEntrepriseNuméro de catalogueCommentaires
200 Proof Pure EthanolKoptecV1001
5 Canaux Duplex CWDMFiber Store5MDD-ABS-FSCWDM
Butterfly Laser Diode MountsTholabsLM14S2
CastAway CTDYellow Springs Instrument
CTDSeabirdSBE 19plus
CourantomètreNortekDispositif
National InstrumentsNIUSB4366
Oscilloscope numériqueRIGOLDS1204B200 MHz 2 GSa/s
Diode laserThorlabsLM9LPLongueur d’onde : 632 nm
Kit de terminaison BNC fixeThorlabsFTK01
Générateur de forme d’onde de fonctionRIGOLDG4162160 MHz 500 GSa/s
Coupe-capsule de haute précisionFujikuraCT-32
Revêtement diélectrique haute réflexionRevêtement évaporé INC (ECI)Les matériaux et la structure du revêtement sont inconnus
Spectromètre I-MON 512Ibsen PhtonicsP/N : 1257110
InGaAs Détecteur biaiséTholabsDET01CFCsortie FC/PC:0-10V ; Quantité : 2
diode laserQphotonicQFLD-405-20SLongueur d’onde : 405 nm
Contrôleur de courant de diode laserTholabsLDC 210C1 A et 100 mA  ;
Régulateur de température à diode laserTholabsTEC 200CQuantité : 2
Gants d’examenen latex HCS
Micro SlidesCorning Incorporated
Narrow linewidth DFB Laser EblanaEP1550-NLW-B06-100FMLongueur d’onde : 1550 nm
Épissure de fusion de fibre optiqueSumitomo electric industries, LTD3822-2
Microscope optique et moniteurIkegami Tsushinki CompanyPM-127
Analyseur de spectre optiqueYokogawaAQ6370Cgamme de longueurs d’onde : 600-1700 nm
Machine polonaiseULTRA TEC41076
Iris post-montablesThorlabsQuantité : 2
Pompe LaserGooch et Housego0400-0974-SMLongueur d’onde : 980 nm
Photodétecteur amplifié SiThorlabs PDA36ALongueur d’onde : 350-1100 nm
Plaquette de siliciumÉpaisseur de la plaquettede l’université : 10 & micro ; m, 200 et micro ; m, 75 et micro ; m, 40 et micro ; m
Fibre monomode  ;CorningSMF-28
Monomode Fusible  ; Coupleur de fibreThorlabs Longueur d’onde: 1550 nm
SM 125 interogratorMicron Optics
Pompe d’aquarium submersibleSonglongSL-403
Superluminscent LEDDenselight SemiconductorsDL-BP1-1501AGamme de longueurs d’onde : 1510-1590 nm
Pompe à seringueCole Parmer74905-02
Voyage Étape de traductionThorlabsLT1
Colle à séchage UVTechnologie époxyPB109077
UVGL-15 Compact UV LmapUVPP/N :95-0017-09254/365 nm
Atténuateurs optiques variablesTholabsM-VA/00016951 P/N : VOA50-APC
d’acquisition de données vectorielles de silicium

Références

  1. Lee, B. Review of the present status of optical fiber sensors. Optical Fiber Technology. 9, 57-79 (2003).
  2. Liu, G., Han, M., Hou, W. High-resolution and fast-response fiber-optic temperature sensor using silicon Fabry-Perot cavity. Optics Express....

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Réimpressions et autorisations

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