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공간적으로 밀폐 복합 산화물의 제조
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Engineering
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Fabrication of Spatially Confined Complex Oxides
DOI:

08:45 min

July 01, 2013

,

Chapters

  • 00:05Title
  • 01:36Sample Growth Fabrication
  • 04:23Photolithography Fabrication
  • 06:34Wire-bonding Connection
  • 07:39Results
  • 08:17Conclusion

Summary

Automatic Translation

우리는 펄스 레이저 증착법 (PLD), 포토 리소그래피와 마이크로 미터 규모의 복합 산화물 장치를 생성하는 와이어 본딩 기술의 사용을 설명합니다. PLD는 에피 택셜 박막을 성장하기 위하여 이용된다. 포토 리소그래피 및 와이어 본딩 기술은 측정을 위해 실제 디바이스를 생성하기 위해 도입된다.

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