Journal
/
Engineering
/
Tillverkning av låg temperatur Nanorör Vertikala Kopplingar Kompatibel med Semiconductor Technology
JoVE Journal
Engineering
A subscription to JoVE is required to view this content.  Sign in or start your free trial.
JoVE Journal Engineering
Fabrication of Low Temperature Carbon Nanotube Vertical Interconnects Compatible with Semiconductor Technology
Please note that all translations are automatically generated. Click here for the English version.

Tillverkning av låg temperatur Nanorör Vertikala Kopplingar Kompatibel med Semiconductor Technology

DOI:
10.3791/53260-v

•

09:20 min

•

December 07, 2015

•

,
1Department of Microelectronics,Delft University of Technology

Chapters

  • 00:05Title
  • 00:46Bottom Metal and Interlayer Dielectric Deposition
  • 03:23Catalyst Deposition and CNT Growth
  • 05:07Topside Metallization
  • 07:17Results: Characterization of Vertically-aligned Carbon Nanotubes
  • 08:41Conclusion

Summary

Automatic Translation

Automatic Translation

A method for the growth of low temperature vertically-aligned carbon nanotubes, and the subsequent fabrication of vertical interconnect electrical test structures using semiconductor fabrication is presented.

Tags

Keywords: Carbon NanotubesVertical InterconnectsLow-temperature GrowthSemiconductor Technology4-point Probe Test StructuresRaman SpectroscopyOhmic ContactResistivity

Article

Embed

ADD TO PLAYLIST

Usage Statistics

Related Videos

check_url/53260?article_type=v

Tillverkning, Förtätning och Replica Formning av 3D mikrostrukturer Nanorör
check_url/53260?article_type=v

Torr Oxidation och vakuum härdningsbehandlingar för avstämning av vätningsegenskaperna hos Arrays Nanorör
check_url/53260?article_type=v

Syntes och funktionalisering av kväve-dopade Cups kolnanorör med guld nanopartiklar som korkar
check_url/53260?article_type=v

Skriva och låg temperatur karakterisering av Oxide nanostrukturer
check_url/53260?article_type=v

Resistiv Kontakta Fabrication Med hjälp av en fokuserad-ion Beam Teknik och elektrisk karakterisering för Layer Semiconductor nanostrukturer
check_url/53260?article_type=v

Avancerade Experimentella metoder för låg temperatur Magnetotransport Mätning av nya material
check_url/53260?article_type=v

Precision Fräsning av Nanorör skogar Använda Lågtrycks Svepelektronmikroskopi
check_url/53260?article_type=v

High Temperature Fabrication av nanostrukturerade yttriumoxidstabiliserad-zirkonium (YSZ) Ställningar av<em> In Situ</em> Carbon schablon xerogeler
check_url/53260?article_type=v

Tillverkning av 3D-kol-mikroelektromekaniska system (C-MEMS)
check_url/53260?article_type=v

Flöde-assisted Dielectrophoresis: En låg kostnad metod för tillverkning av högpresterande lösning-bearbetningsbar nanotråd enheter

Read Article