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Chapters
- 00:04Introduction
- 00:28SAW Device Fabrication Via Lift-Off Method
- 03:21SAW Device Fabrication Via Wet Etching Method
- 05:59Results: SAW Devices Generate Surface Acoustic Waves
- 07:18Conclusion
Zwei Herstellungstechniken, Lift-off und Nassätzung, werden bei der Herstellung von interdigitalen Elektrodenwandlern auf einem piezoelektrischen Substrat beschrieben, Lithiumniobat, das weit verbreitet ist, um Oberflächen-Akustikwellen zu erzeugen, die jetzt einen breiten Nutzen in der Mikro- bis nanoskaligen Fluidik finden. Die produzierten Elektroden werden gezeigt, um effizient Megahertz-Ordnung Rayleigh Oberflächen-Akustikwellen zu induzieren.
