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강렬한 레이저 조사 실험을 위한 미세 가공 대상의 자동 전달

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Automated Delivery of Microfabricated Targets for Intense Laser Irradiation Experiments

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강렬한 레이저 조사 실험을 위한 미세 가공 대상의 자동 전달

DOI:

10.3791/61056-v

•

06:40 min

•

January 28, 2021

•

Yonatan Gershuni², Michal Elkind², Dolev Roitman², Itamar Cohen², Aviad Tsabary², Deep Sarkar², Ishay Pomerantz²

¹The School of Physics and Astronomy,Tel Aviv University, ²Tel Aviv University Center for Light-Matter Interaction

Chapters

00:05Introduction
00:46Target Fabrication
03:32Target Alignment
04:32Irradiation Sequence and Automated Target Positioning
05:15Results
06:13Conclusion

Summary

Automatic Translation

고강도 레이저 펄스가 있는 얇은 금호일의 자동 조사를 위한 프로토콜이 제시됩니다. 이 프로토콜에는 마이크로머시닝 대상 제조 공정에 대한 단계별 설명과 대상이 0.2Hz의 속도로 레이저 초점에 어떻게 유입되는지에 대한 자세한 가이드가 포함되어 있습니다.

Tags

Keywords: Microfabricated Targets Intense Laser Irradiation Automated Target Delivery Wafer Fabrication Silicon Nitride Potassium Hydroxide Reactive Ion Etching Physical Vapor Deposition Gold Sputtering

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