Presenteras här är ett förfarande för att mäta grundläggande materialegenskaper genom mikromekanisk spänningstestning. Beskrivna är metoderna för mikrohållfast provtillverkning (vilket möjliggör snabb mikroprovtillverkning från bulkmaterialvolymer genom att kombinera fotolitografi, kemisk etsning och fokuserad jonstrålefräsning), indenterspetsmodifiering och mikromekanisk spänningsprovning (inklusive ett exempel).