توصيف التعديلات السطحية من التداخل الضوء الأبيض: تطبيقات في التتفيل ايون، التذرية الليزر، والتجارب علم احتكاك المفاصل

ملخص

الأبيض التداخل المجهر ضوء وسيلة بصرية، نونكونتاكت وسريعة لقياس تضاريس السطوح. يتم إثبات أنه يمكن تطبيق أسلوب تحليل نحو ارتداء الميكانيكية، حيث يتم تحليل ارتداء ندوب على عينات اختبار tribological، وعلوم المواد في تحديد أيون الاخرق شعاع الليزر التذرية أو وحدات التخزين والأعماق.

الملخص

في علوم وهندسة المواد غالبا ما يكون من الضروري الحصول على قياسات كمية لتضاريس السطح مع قرار ميكرومتر الجانبية. من سطح قياس، يمكن تحليل الخرائط الطبوغرافية 3D لاحقا باستخدام مجموعة متنوعة من حزم البرمجيات لاستخراج المعلومات اللازمة.

في هذه المادة ونحن تصف كيفية التداخل الضوء الأبيض، وprofilometry البصرية (OP) في العام، جنبا إلى جنب مع برامج التحليل سطح عامة، يمكن استخدام لعلوم المواد والهندسة المهام. في هذه المقالة، وأظهر عدد من التطبيقات من التداخل الضوء الأبيض للتحقيق من التعديلات السطحية في مطياف الكتلة، وارتداء الظواهر في علم احتكاك المفاصل والتشحيم. نحن تميز المنتجات للتفاعل من أشباه الموصلات والمعادن مع أيونات حيوية (الاخرق)، وأشعة الليزر (الاجتثاث)، وكذلك خارج الموضع قياسات للعينات اختبار ارتداء tribological. على وجه التحديد، سوف نناقش:

1. جوانب التقليدية ايون الطيف الكتلي الاخرق المستندة إلى مثل معدلات الاخرق / غلة القياسات على النحاس وسي واللاحقة تحويل الوقت إلى العمق.
2. نتائج توصيف الكمي لتفاعل الإشعاع مع ليزر الفيمتو ثانية على سطح أشباه الموصلات. هذه النتائج مهمة لتطبيقات مثل مطياف الكتلة الاجتثاث، حيث يمكن دراسة كميات المواد والتحكم فيها عن طريق تبخر مدة النبض والطاقة لكل والنبض. وهكذا، من خلال تحديد هندسة الحفرة يمكن للمرء تحديد عمق القرار والجانبية مقابل ظروف الإعداد التجريبية.
3. قياسات المعلمات خشونة السطح في بعدين، والقياسات الكمية للارتداء السطحية التي تحدث نتيجة للاحتكاك وارتداء الاختبارات.

بعض العيوب المتأصلة، والتحف ممكن، وعدم التيقن من التقييمات الضوء الأبيضوسوف تناقش نهج التداخل وأوضح.

المقدمة

سطح المواد الصلبة يحدد إلى حد كبير خصائص ذات أهمية لتلك المواد: إلكترونيا، هيكليا، وكيميائيا. في العديد من مجالات البحوث، إضافة المواد (على سبيل المثال، ترسيب طبقة رقيقة من الليزر نابض / المغنطرون الاخرق ترسب، الفيزيائية / الكيميائية ترسب بخار)، وإزالة المواد (رد الفعل ايون النقش، ايون الاخرق، الليزر التذرية، وما إلى ذلك)، أو بعض العمليات الأخرى، وتحتاج إلى أن تكون متميزة. بالإضافة إلى ذلك، تعديل السطح من خلال التفاعل مع نبضات ضوء حيوية أو الجسيمات المشحونة لديها العديد من التطبيقات، ويحتل أهمية أساسية. علم احتكاك المفاصل، ودراسة الاحتكاك وارتداء، مجالا آخر من مجالات الاهتمام. على نطاق والفوق، عدد وافر من هندستها اختبار tribolo....

البروتوكول

1. محاذاة الأجهزة لعام WLI المسح الضوئي

للحصول على معلومات كمية عن طريق WLI، قد الخطوات التالية بمثابة خطوط عريضة. فمن المفترض أن لديه معرفة المشغل الأساسية للعملية تداخل. المبادئ التوجيهية شائعة بغض النظر عن أداة محددة. بالنسبة لبعض التحقيقات، وسوف تكون مسطحة العينة. بالنسبة للآخرين، قد يكون منحني العينة.

1. وضع العينة على المسرح مع ميزة (أيون باءت بالفشل الحفرة، شعاع أيون / بقعة ذاب، أو ارتداء ندبة) مواجهة مباشرة. استخدام الهدف منخفضة التكبير والتركيز الصك على ذلك. للحصول....

النتائج

الشكل 1 صورة لprofilometer البسيطة المستخدمة في هذه الدراسة: يعتبر برج الهدف متعددة في الصورة. هدفين هي المعيار (10X 50X و)، وهما أهداف Mirau (10X 50X و). هذا المجهر لديه ميزة التكبير وسيطة تمكن مضاعفات التكبير خطوة حكيمة من 0.62 في 1.00، 1.25، 2.00 أو التي سيتم اختيارها.

المناقشة

مثال 1

لا WLI على نطاق واسع لتوصيف سطح العمل في tribological، ولكن هو في الواقع وسيلة قوية لقياس كمي لحجم ارتداء لهندستها اتصال عديدة. WLI تنتج التمثيل الكامل 3D لسطح يمكن تحليلها باستخدام أي من العديد من حزم البرامج التصور. هذه الحزم تمكن من إجراء أنواع مختلفة من القياسات. لمزيد من القرار الوحشي، يمكن الصور "مخيط" معا لإنتاج على نطاق ومجال المعلومات (مم عدة)، مع قرار ميكرومتر.

المواد

قائمة المواد المستخدمة في هذه المقالة

الاسم	الشركة	رقم فهرسي	التعليقات
واحدة من ركائز الكريستال سي، الغاليوم والنحاس			لالاخرق والاجتثاث
السبائك المعدنية النقية			للحصول على أمثلة علم احتكاك المفاصل