Micropunching为微型和亚微米模式聚合物基板上生成的光刻

开发一个micropunching光刻方法产生微观和亚微米图案，顶部，侧壁和底部表面的聚合物基板。它克服了图案化导电聚合物和产生侧壁模式的障碍。这种方法允许多个功能快速制作和侵略性的化学自由。