Waiting
登录处理中...

Trial ends in Request Full Access Tell Your Colleague About Jove
JoVE Journal
Engineering
Author Produced

需要订阅 JoVE 才能查看此 内容. 登录或开始免费试用。

Diseño y metodología de caracterización para filtros de MEMS Tunable eficiente toda la gama
 
Click here for the English version

Diseño y metodología de caracterización para filtros de MEMS Tunable eficiente toda la gama

Article DOI: 10.3791/56371-v 15:25 min February 4th, 2018
February 4th, 2018

章节

总结概括

Please note that all translations are automatically generated.

Click here for the English version.

Se presenta un protocolo para un diseño de viga fija fija usando un Vibrómetro Doppler láser (LDV), incluyendo la medición de la frecuencia de sintonización, modificación de ajuste de capacidad y ausencia de fallo del dispositivo y cohesión. Se demuestra la superioridad del método LDV sobre el analizador de red debido a su mayor capacidad de modo.

Tags

Ingeniería edición 132 microelectromecánicos (MEMS) los sistemas los filtros semiconductor de óxido metálico complementario (CMOS)-MEMS microresonator amplia gama sintonización de frecuencia activa modo de alta resonancia Joule calefacción cohesión láser (Vibrómetro Doppler LDV)
Read Article

Get cutting-edge science videos from JoVE sent straight to your inbox every month.

Waiting X
Simple Hit Counter