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总结概括
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提出了一种金属辅助化学印迹的方案,将形状精度低于20 nm的3D微尺度特征印制到固体和多孔硅晶圆中。
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提出了一种金属辅助化学印迹的方案,将形状精度低于20 nm的3D微尺度特征印制到固体和多孔硅晶圆中。