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Author Spotlight: Introduction to Active Probe Atomic Force Microscopy with Quattro-Parallel Cantilever Arrays
使用 AFM 进行半导体晶圆形貌成像的仪器校准、实验设置和参数调整
具有纳米级分辨率的大规模样品检测具有广泛的应用,特别是对于纳米制造的半导体晶圆。原子力显微镜可以成为实现这一目标的绝佳工具,但受到其成像速度的限制。这项工作利用原子力显微镜中的并行有源悬臂阵列来实现高通量和大规模检测。
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