Summary

Preparación de silicio de nanocables de transistor de efecto de campo de químicos y biosensores Aplicaciones

Published: April 21, 2016
doi:

Summary

We describe key steps for biosensing by using polysilicon nanowire field-effect transistors, including the preparation of the device and the immobilization and confirmation of a DNA molecular probe on the nanowire surface, as well as conditions for DNA sensing.

Abstract

Surveillance using biomarkers is critical for the early detection, rapid intervention, and reduction in the incidence of diseases. In this study, we describe the preparation of polycrystalline silicon nanowire field-effect transistors (pSNWFETs) that serve as biosensing devices for biomarker detection. A protocol for chemical and biomolecular sensing by using pSNWFETs is presented. The pSNWFET device was demonstrated to be a promising transducer for real-time, label-free, and ultra-high-sensitivity biosensing applications. The source/drain channel conductivity of a pSNWFET is sensitive to changes in the environment around its silicon nanowire (SNW) surface. Thus, by immobilizing probes on the SNW surface, the pSNWFET can be used to detect various biotargets ranging from small molecules (dopamine) to macromolecules (DNA and proteins). Immobilizing a bioprobe on the SNW surface, which is a multistep procedure, is vital for determining the specificity of the biosensor. It is essential that every step of the immobilization procedure is correctly performed. We verified surface modifications by directly observing the shift in the electric properties of the pSNWFET following each modification step. Additionally, X-ray photoelectron spectroscopy was used to examine the surface composition following each modification. Finally, we demonstrated DNA sensing on the pSNWFET. This protocol provides step-by-step procedures for verifying bioprobe immobilization and subsequent DNA biosensing application.

Introduction

Silicio de nanocables transistores de efecto de campo (SNWFETs) tienen las ventajas de ultra-alta sensibilidad y respuestas eléctricas directos a la variación de carga del medio ambiente. En SNWFETs de tipo n, por ejemplo, cuando una molécula negativamente (o positivamente) cargado se acerca al nanocable de silicio (SNW), los portadores en el SNW se agotan (o se acumulan). En consecuencia, la conductividad de la SNWFET disminuye (o aumenta) 1. Por lo tanto, cualquier molécula cargada cerca de la superficie del dispositivo de SNW SNWFET puede ser detectado. biomoléculas vitales incluyendo enzimas, proteínas, nucleótidos, y muchas moléculas en la superficie celular son los portadores de carga y pueden ser monitorizados utilizando SNWFETs. Con las modificaciones adecuadas, en particular la inmovilización de una sonda biomolecular en la PN, un SNWFET puede ser convertido en un biosensor libre de etiquetas.

Vigilancia a través de biomarcadores es fundamental para el diagnóstico de enfermedades. Como se muestra en la Tabla 1, varios estudios han utilizado NWFEBiosensores basados-T para etiqueta libre, ultra-alta sensibilidad, y la detección en tiempo real de diversos objetivos biológicos, incluyendo un solo virus 2, trifosfato de adenosina y quinasa de unión 3, señales neuronales 4, iones metálicos 5,6, toxinas bacterianas 7, 8 de la dopamina, 9-11 de ADN, ARN 12,13, enzimas y biomarcadores de cáncer de 14-19, hormonas humanas, 20 y citoquinas 21,22. Estos estudios han demostrado que los biosensores basados ​​en NWFET representan una potente plataforma de detección para una amplia gama de especies biológicas y químicas en una solución.

En los biosensores basados ​​en SNWFET, la sonda inmovilizada sobre la superficie SNW del dispositivo reconoce un biotarget específico. Inmovilizar un biosonda por lo general implica una serie de pasos, y es fundamental que cada paso se lleva a cabo adecuadamente para garantizar el correcto funcionamiento del biosensor. Varias técnicas se han desarrollado para el análisis de los scomposición urface, incluyendo espectroscopía de rayos X de fotoelectrones (XPS), elipsometría, la medición del ángulo de contacto, microscopía de fuerza atómica (AFM), y microscopía electrónica de barrido (SEM). Métodos tales como AFM y SEM proporcionan una evidencia directa de inmovilización biosonda en el dispositivo de nanocables, mientras que los métodos tales como XPS, elipsometría, y la medición del ángulo de contacto dependen de experimentos paralelos realizados en otros materiales similares. En este informe, se describe la confirmación de cada etapa de modificación mediante el uso de dos métodos independientes. XPS se utiliza para examinar las concentraciones de átomos específicos sobre obleas de polisilicio, y las variaciones en las propiedades eléctricas del dispositivo se mide directamente para confirmar la variación de carga en la superficie SNW. Empleamos los biosensores de ADN mediante el uso de SNWFETs policristalinas (pSNWFETs) como un ejemplo para ilustrar este protocolo. La inmovilización de una sonda de ADN en la superficie SNW consta de tres pasos: modificación del grupo amino en la superficie hidroxilo nativo de la PN, colmodificación del grupo dehído, y 5'-aminomodified inmovilización de la sonda de ADN. En cada etapa de modificación, el dispositivo puede detectar directamente la variación de la carga del grupo funcional inmovilizado en la superficie SNW, debido a que las cargas de superficie provocan cambios potenciales interfaciales locales sobre el dieléctrico de la compuerta que alteran la corriente de canal y la conductancia 1. Cargos que rodea la superficie SNW puede modular eléctricamente las propiedades eléctricas del dispositivo pSNWFET; Por lo tanto, las propiedades superficiales de la SNW juegan un papel crucial en la determinación de las características eléctricas de los dispositivos pSNWFET. En los procedimientos descritos, la inmovilización de un biosonda en la superficie SNW se puede determinar directamente y se confirmó mediante la medición eléctrica, y el dispositivo se prepara para aplicaciones de biosensores.

Protocol

1. La fabricación y conservación de los dispositivos pSNWFET la fabricación de dispositivos Nota: El pSNWFET se fabricó usando una técnica de pared lateral espaciador como se informó anteriormente 23,24. Preparar la capa de dieléctrico de la compuerta. Coronar un óxido de 100 nm de espesor térmico (SiO2) capa sobre un sustrato de Si mediante el uso de la (gas de proceso O2 y H2 a 980 ° C durante 4 h) proceso de oxi…

Representative Results

Varios SNWFETs se han reportado para servir como transductores de biosensores (Tabla 1). SNWFETs Single-cristalinos (sSNWFETs) y pSNWFETs muestran propiedades eléctricas comparables como transductores en soluciones acuosas, y ambos se han notificado a tener muchas aplicaciones de biosensores. Una característica ventajosa del dispositivo pSNWFET utilizado en este estudio es su sencilla fabricación y bajo costo procedimiento. La Figura 1a muestra los pa…

Discussion

La comercialización de la de arriba hacia abajo y de abajo hacia arriba fabricación enfoques para sSNWFETs se considera difícil debido a su coste de 32,33, 34,35 SNW control de posición, y su baja escala de producción 36. Por el contrario, la fabricación de pSNWFETs es simple y de bajo costo 37. A través de la aproximación de arriba hacia abajo y la combinación con la técnica de formación de pared lateral espaciador (Figura 1), el tamaño de la SNW …

Divulgations

The authors have nothing to disclose.

Acknowledgements

This research was financially supported by Ministry of Science and Technology, Taiwan (104-2514-S-009 -001, 104-2627-M-009-001 and 102-2311-B-009-004-MY3). We thank the National Nano Device Laboratories (NDL) for its valuable assistance during device fabrication and analysis.

Materials

Acetone ECHO AH-3102
(3-Amonopropyl)triethoxysilane (APTES), ≥98% Sigma-Aldrich A3648 Danger
Ethanol, anhydrous, 99.5% ECHO 484000203108A-72EC
Glutaraldehyde solution (GA), 50% Sigma-Aldrich G7651 Avoid light
Sodium cyanoborohydride, ≥95.0%  Fluka 71435 Danger and deliquescent
Sodium phosphate tribasic dodecahydrate, ≥98% Sigma 04277
Phosphoric acid, ≥99.0% Fluka 79622 Deliquescent
Photoresist (iP3650) Tokyo Ohka Kogyo Co., LTD THMR-iP3650 HP
Synthetic oligonucleotides, HPLC purified Protech Technology
Tris(hydroxymethyl)aminomethane (Tris), ≥99.8% USB 75825
Keithley 2636 System SourceMeter Keithley
SR830 DSP Lock-In Amplifier Stanford Research Systems
SR570 Low-noise Current Preamplifier Stanford Research Systems
Ni PXI Express National Instruments

References

  1. Lin, C. H. et al. Surface composition and interactions of mobile charges with immobilized molecules on polycrystalline silicon nanowires. Sensor Actuat B-Chem 211, 7-16 (2015).
  2. Patolsky, F. et al. Electrical detection of single viruses. P Natl Acad Sci USA 101, 14017-14022 (2004).
  3. Wang, W. U., Chen, C., Lin, K. H., Fang, Y., & Lieber, C. M. Label-free detection of small-molecule-protein interactions by using nanowire nanosensors. P Natl Acad Sci USA. 102, 3208-3212 (2005).
  4. Patolsky, F. et al. Detection, stimulation, and inhibition of neuronal signals with high-density nanowire transistor arrays. Science 313, 1100-1104 (2006).
  5. Bi, X. et al. Development of electrochemical calcium sensors by using silicon nanowires modified with phosphotyrosine. Biosens Bioelectron 23, 1442-1448 (2008).
  6. Lin, T. W. et al. Label-free detection of protein-protein interactions using a calmodulin-modified nanowire transistor. P Natl Acad Sci USA 107, 1047-1052 (2010).
  7. Mishra, N. N. et al. Ultra-sensitive detection of bacterial toxin with silicon nanowire transistor. Lab on a chip 8, 868-871 (2008).
  8. Lin, C. H. et al. Ultrasensitive detection of dopamine using a polysilicon nanowire field-effect transistor. Chem Commun. 5749-5751 (2008).
  9. Hahm, J., & Lieber, C. M. Direct ultrasensitive electrical detection of DNA and DNA sequence variations using nanowire nanosensors. Nano Lett. 4, 51-54 (2004).
  10. Lin, C. H. et al. Poly-silicon nanowire field-effect transistor for ultrasensitive and label-free detection of pathogenic avian influenza DNA. Biosens Bioelectron 24, 3019-3024 (2009).
  11. Wu, C. C. et al. Label-free biosensing of a gene mutation using a silicon nanowire field-effect transistor. Biosens Bioelectron 25, 820-825 (2009).
  12. Zhang, G.-J. et al. Silicon nanowire biosensor for highly sensitive and rapid detection of Dengue virus. Sensor Actuat B-Chem 146, 138-144 (2010).
  13. Lu, N. et al. CMOS-compatible silicon nanowire field-effect transistors for ultrasensitive and label-free microRNAs sensing. Small. 10, 2022-2028 (2014).
  14. Zheng, G., Patolsky, F., Cui, Y., Wang, W. U., & Lieber, C. M. Multiplexed electrical detection of cancer markers with nanowire sensor arrays. Nat Biotechnol. 23, 1294-1301 (2005).
  15. Choi, J. H., Kim, H., Choi, J. H., Choi, J. W., & Oh, B. K. Signal enhancement of silicon nanowire-based biosensor for detection of matrix metalloproteinase-2 using DNA-Au nanoparticle complexes. ACS Appl Mater Interfaces. 5, 12023-12028 (2013).
  16. Lin, T. Y. et al. Improved silicon nanowire field-effect transistors for fast protein-protein interaction screening. Lab Chip 13, 676-684 (2013).
  17. Chen, H. C. et al. A sensitive and selective magnetic graphene composite-modified polycrystalline-silicon nanowire field-effect transistor for bladder cancer diagnosis. Biosens Bioelectron 66, 198-207 (2015).
  18. Lee, H. S., Kim, K. S., Kim, C. J., Hahn, S. K., & Jo, M. H. Electrical detection of VEGFs for cancer diagnoses using anti-vascular endotherial growth factor aptamer-modified Si nanowire FETs. Biosens Bioelectron. 24, 1801-1805 (2009).
  19. Chua, J. H., Chee, R. E., Agarwal, A., Wong, S. M., & Zhang, G. J. Label-free electrical detection of cardiac biomarker with complementary metal-oxide semiconductor-compatible silicon nanowire sensor arrays. Anal Chem. 81, 6266-6271 (2009).
  20. Lu, N. et al. Label-free and rapid electrical detection of hTSH with CMOS-compatible silicon nanowire transistor arrays. ACS Appl Mater Interfaces 6, 20378-20384 (2014).
  21. Chen, H. C. et al. Magnetic-composite-modified polycrystalline silicon nanowire field-effect transistor for vascular endothelial growth factor detection and cancer diagnosis. Anal Chem 86, 9443-9450 (2014).
  22. Zhang, Y. L. et al. Silicon Nanowire Biosensor for Highly Sensitive and Multiplexed Detection of Oral Squamous Cell Carcinoma Biomarkers in Saliva. Anal Sci 31, 73-78 (2015).
  23. Lin, H. C. et al. A simple and low-cost method to fabricate TFTs with poly-Si nanowire channel. Ieee Electr Device L 26, 643-645 (2005).
  24. Lin, H. C., Lee, M. H., Su, C. J., & Shen, S. W. Fabrication and characterization of nanowire transistors with solid-phase crystallized poly-Si channels. Ieee T Electron Dev. 53, 2471-2477 (2006).
  25. Doering, R., & Nishi, Y. Handbook of semiconductor manufacturing technology. 2nd edn, CRC Press, (2008).
  26. Lu, M. P., Hsiao, C. Y., Lai, W. T., & Yang, Y. S. Probing the sensitivity of nanowire-based biosensors using liquid-gating. Nanotechnology. 21, 425505 (2010).
  27. Gaspar, J. et al. Digital lock in amplifier: study, design and development with a digital signal processor. Microprocess Microsy 28, 157-162 (2004).
  28. Vezenov, D. V., Noy, A., Rozsnyai, L. F., & Lieber, C. M. Force titrations and ionization state sensitive imaging of functional groups in aqueous solutions by chemical force microscopy. J Am Chem Soc. 119, 2006-2015 (1997).
  29. Townsend, M. B. et al. Experimental evaluation of the FluChip diagnostic microarray for influenza virus surveillance. J Clin Microbiol 44, 2863-2871 (2006).
  30. Wang, L. C. et al. Simultaneous detection and differentiation of Newcastle disease and avian influenza viruses using oligonucleotide microarrays. Vet Microbiol 127, 217-226 (2008).
  31. Lin, C.-H. et al. Recovery Based Nanowire Field-Effect Transistor Detection of Pathogenic Avian Influenza DNA. Jpn J Appl Phys 51, 02BL02 (2012).
  32. Lee, K. N. et al. Well controlled assembly of silicon nanowires by nanowire transfer method. Nanotechnology 18 445302 (2007).
  33. Li, Z. et al. Sequence-specific label-free DNA sensors based on silicon nanowires. Nano Lett 4, 245-247 (2004).
  34. McAlpine, M. C. et al. High-performance nanowire electronics and photonics on glass and plastic substrates. Nano Lett 3, 1531-1535 (2003).
  35. Cui, Y., Wei, Q., Park, H., & Lieber, C. M. Nanowire nanosensors for highly sensitive and selective detection of biological and chemical species. Science. 293, 1289-1292 (2001).
  36. Patolsky, F., Zheng, G., & Lieber, C. M. Nanowire-based biosensors. Anal Chem. 78, 4260-4269 (2006).
  37. Hsiao, C. Y. et al. Novel poly-silicon nanowire field effect transistor for biosensing application. Biosens Bioelectron 24, 1223-1229 (2009).
check_url/fr/53660?article_type=t

Play Video

Citer Cet Article
Wu, J. Y., Lin, C., Feng, M., Chen, C., Su, P., Yang, P., Zheng, J., Fu, C., Yang, Y. Preparation of Silicon Nanowire Field-effect Transistor for Chemical and Biosensing Applications. J. Vis. Exp. (110), e53660, doi:10.3791/53660 (2016).

View Video