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Progettazione e nella metodologia di caratterizzazione per efficiente ampio intervallo sintonizzabile MEMS filtri
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Chapitres
- 00:00Titre
- 02:51Selecting and Designing Optimum Structure
- 03:31Modeling and Fabrication on CMOS
- 05:39Device Testing: Thermal Camera Test for Embedded Heaters
- 06:27Device Testing: Calibrating LDV and Test Setup
- 09:19Device Testing: Testing 68μm Long MEMS Filters via LDV
- 10:32Device Testing: Higher Mode Measurement
- 11:01Avoiding Device Failures
- 11:45Avoiding Failures: High Thermal Stress and Burning
- 12:10Boosting The Tuning Capability
- 13:16Résultats
- 14:07Conclusion
Un protocollo per un design fisso-fisso larghezza utilizzando un vibrometro laser Doppler (LDV), compresa la misurazione della frequenza di sintonizzazione, modifica di tuning capacità e l'evitare malfunzionamenti e attrito statico, è presentato. Grazie alla sua superiore capacità di modalità è dimostrata la superiorità del metodo LDV sopra l'analizzatore di rete.
