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Méthodologie de conception et caractérisation pour filtres MEMS Tunable efficace Wide Range
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Chapitres
- 00:00Titre
- 02:51Selecting and Designing Optimum Structure
- 03:31Modeling and Fabrication on CMOS
- 05:39Device Testing: Thermal Camera Test for Embedded Heaters
- 06:27Device Testing: Calibrating LDV and Test Setup
- 09:19Device Testing: Testing 68μm Long MEMS Filters via LDV
- 10:32Device Testing: Higher Mode Measurement
- 11:01Avoiding Device Failures
- 11:45Avoiding Failures: High Thermal Stress and Burning
- 12:10Boosting The Tuning Capability
- 13:16Résultats
- 14:07Conclusion
Un protocole pour une conception de faisceau fixe-fixe à l’aide d’un vibromètre laser Doppler (LDV), y compris la mesure de la fréquence, tuning, modification de réglage capacité et éviter la défaillance du dispositif et prismatique, est présenté. La supériorité de la méthode LDV sur l’analyseur de réseau est démontrée en raison de sa capacité supérieure de la mode.
