/
/
Design og karakterisering metodikk for effektiv bredt spekter Tunable MEMS filtre
Un abonnement à JoVE est nécessaire pour voir ce contenu. Connectez-vous ou commencez votre essai gratuit.
Chapitres
- 00:00Titre
- 02:51Selecting and Designing Optimum Structure
- 03:31Modeling and Fabrication on CMOS
- 05:39Device Testing: Thermal Camera Test for Embedded Heaters
- 06:27Device Testing: Calibrating LDV and Test Setup
- 09:19Device Testing: Testing 68μm Long MEMS Filters via LDV
- 10:32Device Testing: Higher Mode Measurement
- 11:01Avoiding Device Failures
- 11:45Avoiding Failures: High Thermal Stress and Burning
- 12:10Boosting The Tuning Capability
- 13:16Résultats
- 14:07Conclusion
En protokoll for en fast-fast bredde design bruker en laser Doppler vibrometer (LDV), inkludert måling av frekvens tuning, endring av tuning evne, og unngå enhetsfeil og statisk friksjon, presenteres. Overlegenhet metoden LDV over nettverk analyserer er demonstrert på grunn av sin høyere modus evne.
