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Articolo metodologico

Misura di degassamento Tassi di Acciai

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⸱

DOI:

10.3791/55017

⸱

13 dicembre 2016

 ,  ,  ,  , 
1Accelerator Division, Pohang Accelerator Laboratory, POSTECH, 2Center for Advanced Instrumentation, Korea Research Institute of Standards and Science

In questo articolo

Sommario

Viene presentato un protocollo per la misurazione dei tassi di degassamento dell'idrogeno dalle normali camere a vuoto in acciaio utilizzando il metodo del tasso di aumento della pressione.

Abstract

Acciai sono comunemente utilizzati materiali nella fabbricazione di sistemi di aspirazione a causa delle loro buone proprietà meccaniche, corrosione, ed a vuoto. Una varietà di acciai soddisfa il criterio del basso degassamento necessaria per le applicazioni ad alta o ultraelevati vuoto. Tuttavia, un dato materiale può presentare diversi tassi di degassamento seconda procedimento di fabbricazione o vari processi di pretrattamento coinvolte durante la fabbricazione. Così, la misurazione dei tassi di degassamento è altamente desiderabile per un'applicazione specifica sottovuoto. Per questo motivo, l'aumento della velocità di pressione Metodo (ROR) è spesso utilizzato per misurare il degassamento dell'idrogeno dopo bakeout. In questo articolo, viene fornita una descrizione dettagliata della progettazione e l'esecuzione del protocollo sperimentale coinvolti nel metodo RoR. Il metodo RoR utilizza un misuratore rotore di filatura per minimizzare gli errori che derivano dal degassamento o l'azione di pompaggio di un vacuometro. I tassi di degassamento dei due acciai ordinari (acciaio inox e mILD acciaio) sono stati misurati. Le misurazioni sono state effettuate prima e dopo il pretrattamento termico degli acciai. Il pretrattamento termico di acciaio è stata eseguita per ridurre il degassamento. Estremamente bassi tassi di degassamento (dell'ordine di 10 - 11 Pa m 3 sec - 1 m - 2) possono essere misurati di routine utilizzando relativamente piccoli campioni.

Introduzione

Acciai sono abitualmente utilizzati nella costruzione a causa delle loro buone proprietà meccaniche. Alcuni acciai (acciai ferrosi, in particolare) sono preferiti materiali per applicazioni con il vuoto. A seconda del tipo e grado, questi acciai hanno tassi di degassamento sufficientemente basse essenziali per alto vuoto (HV, 10 - 7 <10 - 5 PA) o ultra alto vuoto (UHV, 10 -10 <<10 p - 7 Pa) sistemi . Inoltre, la vasta ricerca è stata condotta verso lo sviluppo di procedure speciali di pretrattamento che riducono degassamento 1-3. Le misure di pretrattamento sono stati progettati per ridurre al minimo l'investimento di pompaggio o per migliorare il vuoto da HV a UHV o da UHV a estremo-alto vuoto (p <10 - 10 Pa).

Sebbene siano stati proposti molti metodi pratici per ridurre il ratto degassamentoe di acciai ferrosi, metodi recenti sono focalizzati sulla riduzione del tempo e la temperatura richiesta per ottenere un tasso di degassamento inferiore. Il trattamento termico a 350 ° C-450 ° C anziché vuoto cottura a 800 ° C-950 ° C, è un buon esempio di questo approccio. 1,4,5 Inoltre, scegliendo il materiale ideale per un'applicazione specifica vuoto è critica; per esempio, selezionando un materiale ferritico con un tasso molto basso degassamento per uso in schermatura del campo magnetico. 6,7

Nel corso di tali indagini, precisa misurazione del tasso di degassamento è un prerequisito per la proiezione di materiali candidati o la verifica dell'efficacia delle varie procedure di pretrattamento. 8,9 Le tecniche sperimentali più comuni utilizzate per la misura di degassamento sono il throughput e della velocità di pressione metodi aumento. 10 Recentemente, sono stati condotti vari esperimenti per misurare il tasso di idrogeno degassamento basato sul metodo RoR utilizzando centrifugamanometro rotore ning (SRG). 1, 11-13 Il metodo RoR utilizzando SSR è molto adatto per la misurazione molto bassi tassi di degassamento idrogeno che spesso limitano la pressione più bassa realizzabile in un sistema di aspirazione in acciaio. Questo perché la SSR ha pompaggio trascurabile o azione degassamento. Inoltre, la SSR ha anche un'eccellente precisione e una buona linearità in alto vuoto e la gamma di vuoto ultra-alta. 14

Dato che la letteratura pubblicata su esperimenti RoR è limitata, vale la pena di descrivere i dettagli sperimentali per sviluppare una più profonda comprensione del metodo. In questo articolo il video, si descrive in dettaglio il processo di creazione l'esperimento e fornire istruzioni dettagliate per eseguire misure di degassamento con il metodo RoR. Per dimostrare l'efficacia del metodo, i tassi di degassamento dei due acciai comunemente utilizzati (acciaio inox 304 e S20C acciaio dolce) sono stati misurati prima e dopo un trattamento di preriscaldamento per ridurre il outgassin idrogenotasso g. I valori pre e post-trattamento sono stati confrontati. I risultati tipici sperimentali utilizzando piuttosto semplice impostazione vengono presentati per dimostrare l'efficacia del metodo ottimizzato per valutare bassi tassi di degasaggio idrogeno.

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Protocollo

Attenzione: Si prega di seguire tutte le procedure di sicurezza appropriate, mentre l'assemblaggio dei attrezzature e campioni camere. Si prega di indossare dispositivi di protezione individuale (occhiali, guanti, scarpe di sicurezza, etc.).

1. Realizzazione di una camera per campioni vuoto

  1. Progettazione e fabbricazione della camera a vuoto
    1. Preparare e presentare disegni di progettazione di un fornitore commerciale o un negozio di macchina in-house per la realizzazione della camera a vuoto del campione. Un esempio rappresentativo del disegno per una camera a vuoto in acciaio S20C è mostrato in Figura 1. La camera progettata in questo esperimento è molto semplice ed è comunemente impiegato da aziende vuoto.
      NOTA: Il produttore dovrebbe avere una conoscenza di base dei sistemi UHV.
    2. Ispezionare tutte le dimensioni per garantire la conformità con il disegno.
    3. Dopo formatura (lavorazione) della camera a vuoto, coprire le flange fine CF con plastica per evitare daMage durante il trasporto.
  2. Pulizia
    NOTA: Seguire ambiente locale, la salute, e le norme di sicurezza durante la pulizia chimica. Indossare dispositivi di protezione individuale. Maneggiare le parti utilizzando guanti in vinile. Non toccare le parti a mani nude.
    1. Pulire le parti in acciaio a seguito della procedura di pulizia UHV per gli acciai. Una tipica procedura di pulizia è descritta di seguito.
    2. Sgrassare le parti utilizzando un solvente come acetone, a temperatura ambiente per 5 min.
    3. Pulire le parti in un bagno ad ultrasuoni per 20 minuti utilizzando un detergente BN (pH 13).
    4. Risciacquare le parti con acqua corrente per 10 minuti, seguita da un accurato risciacquo con acqua deionizzata per 20 min.
    5. Sciacquare abbondantemente con alcool e asciugare con gas azoto secco.
    6. Avvolgere le parti in carta pulito, privo di lanugine e permettere alle parti di asciugare per un giorno.
  3. Saldatura
    NOTA: Non toccare le parti con le mani nude. l'abbiamolder deve essere addestrato nella saldatura UHV.
    1. Posizionare le parti su una panchina di saldatura.
    2. Premontare le parti e allineare le parti come da schizzo.
    3. Back-spurgo con gas argon (5 L / min) per evitare la corrosione durante la saldatura.
    4. Tack saldare le flange di estremità con la tecnica della saldatura di tungsteno gas inerte (TIG) (portata argon: 8-9 L / min). 15
    5. Saldatura flange di estremità completamente con tecnica TIG e una giga tornitura. Lasciare che la zona termicamente alterata raffreddare a temperatura ambiente. Arrestare il flusso di gas argon.
  4. prova di tenuta
    1. Sigillare una estremità della camera con una flangia CF.
    2. Collegare l'altra estremità a un rilevatore di perdita di elio (HLD).
    3. Svuotamento camera a vuoto del campione utilizzando il HLD.
    4. Posizionare la cucitura termosaldata in un sacchetto di vinile e riempire il sacchetto con gas elio.
    5. Misurare una variazione del livello di elio. Assicurarsi che la camera è a tenuta stagna. Il shou dell'elio tasso di perditald essere <1 × 10 - 11 Pa m 3 sec - 1 (1 × 10 - 10 mbar L sec - 1).
    6. Se non si osservano perdita, ventilare la camera. In caso contrario, reweld la camera a vuoto dopo lo sfiato (ripetere i passaggi 1.3.3 tramite 1.4.5).

2. Realizzazione del forno

  1. Preparare e presentare i disegni di progetto di un fornitore o di un negozio di macchina in-house per la produzione del forno. Fare riferimento alla tabella mostrata in figura 2.
  2. Procurarsi le parti e le attrezzature necessarie descritte nel controllo della temperatura della Lista di specifici materiali / attrezzature.
  3. Collegare la linea di raffreddamento.
  4. Fornire acqua di raffreddamento per un refrigeratore. Eseguire il refrigeratore e verificare la presenza di perdite d'acqua. Arrestare il refrigeratore.

3. apparato sperimentale per RoR Misure

  1. Raccogliere il vuoto attrezzature / hardware richiesto specificato inla lista di specifici materiali / attrezzature. La configurazione di prova è costituito principalmente da una SSR, un analizzatore di gas residuo (RGA), una pompa turbomolecolare (TMP) dotato di una pompa di diffusione (RP), una valvola di angolo in metallo (AV Ch), un T (CF35), e un riduttore (CF35 a CF63). Ulteriori elementi possono includere un rivelatore di perdita di elio e un indicatore UHV, come elencato nella lista di specifici materiali / attrezzature. L'AV Ch dovrebbe avere una flangia ruotabile sul lato del sedile (di tenuta) per livellare la SSR.
  2. Raccogliere le chiavi (M6 e M8), guarnizioni in rame (CF35 e CF63), e bulloni / dadi (M6 e M8) necessari per l'assemblaggio.
  3. Utilizzare un misuratore di livello industriale per assemblare il SSR.
  4. Maneggiare le parti utilizzando guanti in vinile. Non toccare la superficie che è esposto al vuoto con le mani nude. Indossare scarpe di sicurezza.
  5. Assemblaggio dell'apparato sperimentale
    1. Assemblare i componenti vuoto sequenza utilizzando guarnizioni in rame sul lato della pompa al lato di esempio, come mostrato in Figura 3. Posizionare sempre il lato sede della valvola rivolto verso la camera del campione. Serrare faccia a faccia tutti i giunti a flangia con una guarnizione in rame (CF35) con una chiave (M6), tranne il giunto tra la camera del campione e la valvola di isolamento camera (AV Ch).
    2. Regolare il gruppo flangia SSR e la camera del campione in modo che l'asse della testa SSR è verticale usando il misuratore di livello; entro ± 2 ° (max) (Figura 4). Serrare il giunto a flangia tra la camera del campione e l'AV Ch, faccia a faccia, pur mantenendo il livello della flangia del SSR. Fare riferimento al manuale utente SSR per le istruzioni dettagliate.
    3. Collegare l'RP e la HLD con valvole di isolamento (AV Ro, AV HLD) alla porta flangia di serraggio (KF) della fine scarico del TMP.
      Attenzione: Assicurarsi che non vi è alcun shock meccanico per l'assemblaggio della flangia SRG o rotore.
  6. prova di tenuta
    1. Accendere il HLD e attendere che il rilevatore èpronto. Aprire il HLD AV e chiudere il AV Ro.
    2. Svuotamento la configurazione utilizzando il HLD. Fare riferimento al manuale HLD per la procedura operativa corretta. Attendere circa 30 minuti per pompare il gas elio residua dalla configurazione. Assicurarsi che il livello di elio è all'interno del limite minimo rilevabile del HLD.
    3. Spray gas elio attraverso la scanalatura prova di tenuta sulle flange.
    4. Misurare una variazione del livello di elio. Assicurarsi che la camera è a tenuta. Il tasso di perdita di elio dovrebbe essere <1 × 10 - 11 Pa m 3 sec - 1 (1 × 10 - 10 mbar L sec - 1).
    5. In caso di perdite dalle flange, avvitare nuovamente le flange.
    6. Se si riscontrano perdite, fermare la prova di tenuta e di sfiato del sistema di aspirazione. Aprire il AV Ro e chiudere il HLD AV.

4. Misura di degassamento Tariffe

  1. Pump down procedura
    1. Svuotamento sistema di vuoto accendendo il TMP e RP allo stesso tempo.
    2. Mentre il processo di pompaggio è acceso, di raccogliere gli elementi necessari per bakeout; Nastri elettrici di riscaldamento, i controller di riscaldamento, multimetro palmare, foglio di alluminio, e sensori di temperatura / cavi.
  2. procedura bakeout
    1. Rimuovere la testa SRG dal gruppo flangia. componenti Wrap vuoto (tra l'assemblaggio della flangia SSR e la flangia di ingresso della TMP) in riscaldatori a fascia.
    2. Controllare e verificare che non vi è alcun corto circuito elettrico tra i riscaldatori e le parti di vuoto utilizzando multimetro palmare.
    3. Collegare i riscaldatori ai rispettivi controllori e avvolgere la camera in foglio di alluminio.
    4. Aumentare la temperatura a 150 ° C ad una velocità di rampa di 1 ° C-2 ° C / min.
    5. Tenere la camera a 150 ° C per 24-48 ore con regolatore di programma bakeout. Mantenere la temperatura della RGAelettronica sotto i 50 ° C con ventola di raffreddamento.
    6. Degas ciascuno dei filamenti RGA di bombardamento elettronico per almeno 5 minuti.
    7. Misurare lo spettro RGA da 1 a 50 m / e per assicurare che la H 2 O picco (m / e = 18) è minore di metà del picco H 2 (m / e = 2). In caso contrario, continuare la bakeout.
    8. Lasciare che il sistema si raffreddi a temperatura ambiente ad una velocità di rampa di 1 ° C-2 ° C / min. Controllare eventuali perdite che si riferiscono allo spettro RGA misurato durante il raffreddamento.
    9. Analizzare il gas residuo nella camera campione. Misurare lo spettro RGA. Chiudere il AV Ch e misurare di nuovo lo spettro RGA. Lo spettro RGA della camera del campione corrisponde alla differenza tra gli spettri acquisiti prima e dopo la chiusura della AV Ch.
    10. Verificare che la somma di tutte le impurezze gassose, come H 2 O, CO e CO 2, è inferiore al 5%; In caso contrario, ripetere la bakeout.
  3. Funzionamento del SRsol
    NOTA: Il corretto funzionamento della SSR è molto importante. Fare riferimento al manuale di istruzioni SSR per le istruzioni.
    1. Montare la testa SSR sul gruppo della flangia SSR.
    2. Assicurarsi che l'asse della testa SSR è entro ± 2 ° (max) (Figura 4). Usare un indicatore di livello di riferimento.
    3. Avviare la SSR e attendere la stabilizzazione della resistenza residua, un segnale di pressione indipendente della SSR, che di solito richiede alcune ore.
    4. Inserire i parametri di ingresso appropriati, quali gas (H 2), la temperatura (24 ° C), e l'intervallo di misurazione (10 sec).
  4. Procedura per l'avvio di controllo della temperatura
    1. In attesa del segnale per stabilizzare, stabilizzare la temperatura del campione. Accendere il refrigeratore per eseguire l'acqua di raffreddamento attraverso il sistema. Impostare la temperatura del fluido a 15 ° C.
    2. Avviare il controller di riscaldamento per il campione. Impostare la temperatura nominale di 24 ° C. attendere for stabilizzare la temperatura entro ± 0,1 ° C dopo la chiusura della porta del forno.
  5. Procedura per l'acquisizione del segnale SSR
    1. Verificare che la variazione del valore di offset del segnale è entro ± 1 × 10 - 9 PA / sec; altrimenti, smontare la SSR dal sistema e cambiare il rotore o montaggio della flangia, quindi ripetere 3,5-4,4. (Se questo non è possibile, di acquisire la pendenza della offset per 8-24 ore. Questo sarà sottratto dai dati della frequenza degassamento misurati.)
    2. Controllare il livello del segnale fornito dal regolatore di SRG; dovrebbe essere almeno -10 dB. Idealmente, dovrebbe essere compreso tra 0 e 6 dB. Tuttavia, valori fino a 12 dB sono accettabili. Se il segnale è> 14 dB, interrompere l'operazione SRG. Rimuovere il capo e riscaldare il ditale a 200 ° C. Ripetere l'intera operazione a partire dal punto 4.5.1.
    3. Controllare il livello di smorzamento fornito dal controllore SRG; il valore ottimale è compreso tra -, 35 e -60 dB, che è normalmente soddisfatta nel sistema usando TMP e la pompa di scorrimento che è prevista su un tampone di gomma. In caso contrario, smettere di tutte le attrezzature in esecuzione e rimuovere le fonti di qualsiasi vibrazione meccanica.
  6. L'acquisizione dei dati RoR
    1. chiudere delicatamente il AV per avviare l'accumulo di pressione. Fare attenzione a non sottoporre la SSR a uno shock meccanico.
    2. Chiudere la porta del forno e acquisire dati di pressione per 8-24 ore utilizzando un computer.
    3. Controllo preliminare i dati misurati per verificare che la variazione di temperatura è di ± 0,1 ° C dopo la stabilizzazione e che l'aumento della pressione è lineare entro l'errore 10%. Se sono soddisfatti tali criteri, arrestare la misura. In caso contrario, continua a misurare fino a quando l'aumento della pressione diventa lineare all'interno di errore del 10% per almeno 16 ore.
    4. Spegnere tutte le apparecchiature.
  7. Calcolo del tasso di degassamento
    1. Selezionare la pressione impostata dopo la stabi temperaturalizzazione.
    2. Montare i dati di aumento della pressione utilizzando minimi quadrati lineari montaggio e calcolare la pendenza. La pendenza d P / d t è il tasso misurato di aumento della pressione dopo che la valvola è chiusa.
    3. Calcolare il tasso degassamento, q (H 2 equivalente), utilizzando l'equazione
      q = (V / A) (d P / d t) [Pa m 3 sec - 1 m - 2],
      dove V è il volume della camera del campione (m 3) e A è l'area superficiale geometrica della camera (m 2).

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Risultati

Come previsto, il gas residuo dopo la bakeout era principalmente idrogeno. 7 L'aumento di pressione misurata usando l'SSR era lineare per un lungo periodo di tempo (Figura 5). Così, l'effetto riassorbimento potrebbe essere trascurabile e il tasso di degassamento intrinseca (q) per gli acciai testati in questo studio può essere valutata utilizzando il metodo RoR. 10 I dati di aumento della pressione misurati sono stati analizzati...

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Discussione

Numerosi metodi per la misurazione dei tassi di degassamento sono stati riportati in letteratura. Metodi sperimentali includono il throughput, la modulazione della conduttanza, due-path, RoR, e le variazioni di questi metodi. Tuttavia, nessuno metodo è ideale per ottenere i dati necessari degassamento. 10 Il metodo RoR utilizzando SSR, tuttavia, è diventato il metodo di scelta per la misurazione di materiali a basso degassamento. 11-13 SRG 17 è spesso usato come standard secondario nei s...

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Dichiarazioni

Gli autori non hanno alcun conflitto di interessi da dichiarare.

Ringraziamenti

Questo lavoro è stato supportato congiuntamente dal Programma del Centro di Ricerca Convergente attraverso il Ministero della Scienza, delle TIC e della Pianificazione Futura, Corea (NRF-2014M3C1A8048817) e dal Programma di Convergenza R&D di NST (Consiglio Nazionale delle Ricerche di Scienza e Tecnologia) della Repubblica di Corea (CAP-14-3-KRISS).

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Materiali

Elenco dei materiali utilizzati in questo articolo
NomeAziendaNumero di catalogoCommenti
Camera di campionamento
Acciaio inossidabile, 304POSCO
(www.posco.co.kr)
Acciaio dolce, D3752Xiangtan Iron& Steel co.,LTD (http://www.hnxg.com)
Acciaio dolce, D3752SeAh Besteel (www.seahbesteel.co.kr)
NameCompanyCodice catalogoComments
>Cleaning
Cleaning bathCleaningSamill IDSPulizia ad ultrasuoni, riscaldamento, timer, controllo della concentrazione 
AcetoneSamchun Chemical (www.samchun.com)A1759Grado HPLC (99,7%)
TekusolvNCH Co.              (www.nch.com)0368-0058JSolventi
Detergente BNTecnologie per superfici Henkel (na.henkel-adhesives.com)6610263775Alcalino, pH 13
EtanoloFisher Scientific (www.fishersci.com)A995-4Reagente HPLC (99,9%)
Acqua deionizzata (Electro deionizer SYSTEM)A.T.A              (www.atagroup.co)SISTEMA
Liquido N2 gasHanyoung (www.gasmaster.co.kr)B/T 176 LLN2 dewar, purezza 99.999%
NameCompanyNumero catalogoComments
Welding
Macchina per l'avvolgimento a gas inerte di tungstenoThermal Arc (www.victortechnologies.com/thermalarc)400GTSWPreflusso e postflusso del gas Ar 8 L/min, riflusso 5 L/min
dima di tornituraVactron
(www.vactron.co.kr)		Su ordinazioneordinazione
Ar gasLindekorea (www.lindekorea.com)Purezza 99,999%
NomeAziendaNumero di catalogoComments
Test di tenuta
Rilevatore di perditeAdixen
(www.adixen.fr/en/)		ASM380Velocità di pompaggio (aria): 9,7 L/sec
Gas HeLindekorea (www.lindekorea.com)Purezza 99,999%
NameAziendaNumero di catalogoComments
Vacuum equipment
Spinning rotor gauge MKS Instruments (www.mks.com)SRG-3Controller, testa e ditale Set
OscilloscopioTektronix
(www.tek.com)		TDS2012B
Analizzatore di gas residulareBalzersQMA200m/e 0-100 
TMP (HiPace 80)Pfeiffer Vuoto (www.pfeiffer-vacuum.com)PMP03941Velocità di pompaggio (N2): 67 L/sec
Pompa a spiraleAnest Iwata
(www.anest-iwata.co.jp)		ISP 90Velocità di pompaggio (Aria): 1,8 L/sec
Valvola ad angolo chiuso facile in metallo (CF35)VAT Inc.
(www.vatvalve.com)		54032-GE02-0002Flangia girevole
Valvola ad angolo ( KF25)MDC Vacuum Inc. (www.mdcvacuum.com)KAV-100
NomeCompanyNumero di catalogoComments
Controllo della temperatura 
ChillerJEIO Tech
(www.jeiotech.com)		RW-2025G
Linea di raffreddamentoLS Metal
(www.lsmetal.biz)		C1100Bobina avvolta di livello, diametro 10 mm
Controllori del riscaldatoreHMTSu ordinazioneControllore del programma di cottura
Nastri riscaldanti elettrici Calorevivace (www.briskheat.com)
Termocoppia (tipo K)Miraesensor (www.miraesensor.com)MR-2290
Multimetro portatileSaehan
(www.saehan.co.kr)		3234
Registratore dati (Temp.)Yokogawa (www.yokogawa.com)GP10-1E1F-UC10
EDI Su BIH101080L

Riferimenti

  1. Mamun, M. A., Elmustafa, A. A., Stutzman, M. L., Adderley, P. A., Poelker, M. Effect of heat treatments and coatings on the outgassing rate of stainless steel chambers. J. Vac. Sci. Technol. A. 32 (2), 021604(2014).
  2. Sasaki, Y. T. Reducing SS 304/316 hydrogen outgassing to 2x10−15 torr l /cm2 s. J. Vac. Sci. Technol. A. 25 (4), 1309-1311 (2007).
  3. He, P., Hseuh, H. C., Mapes, M., Todd, R., Weiss, D., Wilson, D. Outgassing properties of the spallation neutron source ring vacuum chambers coated with titanium nitride. J. Vac. Sci. Technol. A. 22 (3), 705-710 (2004).
  4. Bernardini, M., et al. Air bake-out to reduce hydrogen outgassing from stainless steel. J. Vac. Sci. Technol. A. 16 (1), 188-193 (1998).
  5. Park, C., Chung, S., Liu, X., Li, Y. Reduction in hydrogen outgassing from stainless steels by a medium-temperature heat treatment. J. Vac. Sci. Technol. A. 26 (5), 1166-1171 (2008).
  6. Kamiya, J., et al. Vacuum chamber made of soft magnetic material with high Permeability. Vacuum. 98, 12-17 (2013).
  7. Park, C., Ha, T., Cho, B. Thermal outgassing rates of low-carbon steels. J. Vac. Sci. Technol. A. 34 (2), 021601(2016).
  8. Battes, K., Day, C., Hauer, V. Outgassing rate measurements of stainless steel and polymers using the difference Method. J. Vac. Sci. Technol. A. 33 (2), 021603(2015).
  9. Jousten, K., Putzke, S., Buthig, J. Partial pressure measurement standard for characterizing partial pressure analyzers and measuring outgassing rates. J. Vac. Sci. Technol. A. 33 (6), 061603(2015).
  10. Redhead, P. A. Recommended practices for measuring and reporting outgassing data. J. Vac. Sci. Technol. A. 20 (5), 1667-1675 (2002).
  11. Jousten, K. Calibration of total pressure gauges in the UHV and XHV regions. J. Vac. Soc. Jpn. 37 (9), 678-685 (1994).
  12. Nemanic, V., Setina, J. Outgassing in thin wall stainless steel cells. J. Vac. Sci. Technol. A. 17 (3), 1040-1046 (1999).
  13. Nemanic, V., Setina, J. A study of thermal treatment procedures to reduce hydrogen outgassing rate in thin wall stainless steel cells. Vacuum. 53, 277-280 (1999).
  14. Berg, R. F., Fedchak, J. A. NIST Calibration Services for Spinning Rotor Gauge Calibrations. Natl. Inst. Stand. Technol. Spec. Publ. , 250-293 (2015).
  15. Kou, S. Welding Metallurgy. , Wiley-Interscience. Hoboken, N.J. 13-16 (2003).
  16. Fruehan, R. J. Vacuum Degassing of Steel. , Iron & Steel Society. Warrendale, PA. (1990).
  17. Fedchak, J. A., Scherschligt, J., Sefa, M. How to Build a Vacuum Spring-transport Package for Spinning Rotor Gauges. J. Vis. Exp. (110), e53937(2016).
  18. Saitoh, M., Shimura, K., Iwata, T., Momose, T., Ishimaru, H. Influence of vacuum gauges on outgassing rate measurements. J. Vac. Sci. Technol. A. 11 (5), 2816-2821 (1993).
  19. Calder, R., Lewin, G. Reduction of stainless-steel outgassing in ultra-high vacuum. Brit. J. Appl. Phys. 18, 1459-1472 (1967).

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