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화학 용액 증착에 의해 실리콘에 거대 다공성 에피 택셜 석영 필름의 제조
 
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화학 용액 증착에 의해 실리콘에 거대 다공성 에피 택셜 석영 필름의 제조

Article DOI: 10.3791/53543-v • 07:37 min • December 21st, 2015
December 21st, 2015 •
1, 2
1Institut des Nanotechnologies de Lyon, CNRS-École Centrale de Lyon, 2Institut de Ciència de Materials de Barcelona, Consejo Superior de Investigaciones Científicas

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화학 문제 (106) 석영 에피 택셜 박막 압전 졸 - 겔 (sol-gel) 소프트 화학 증발에 의한 자기 조립 (self-assembly) 딥 코팅 실투
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