Her presenterer vi en protokoll for å anslå materiale og overflate optiske egenskaper ved hjelp av foto-akustiske effekt kombinert med total intern refleksjon. Denne teknikken svinnfeltbaserte photoacoustics kan brukes til å lage en fotoakustisk metrologi system for å estimere materialenes tykkelser, bulk og tynn film brytningsindekser, og utforske sine optiske egenskaper.
Here, we present a protocol to estimate material and surface optical properties using the photoacoustic effect combined with total internal reflection. Optical property evaluation of thin films and the surfaces of bulk materials is an important step in understanding new optical material systems and their applications. The method presented can estimate thickness, refractive index, and use absorptive properties of materials for detection. This metrology system uses evanescent field-based photoacoustics (EFPA), a field of research based upon the interaction of an evanescent field with the photoacoustic effect. This interaction and its resulting family of techniques allow the technique to probe optical properties within a few hundred nanometers of the sample surface. This optical near field allows for the highly accurate estimation of material properties on the same scale as the field itself such as refractive index and film thickness. With the use of EFPA and its sub techniques such as total internal reflection photoacoustic spectroscopy (TIRPAS) and optical tunneling photoacoustic spectroscopy (OTPAS), it is possible to evaluate a material at the nanoscale in a consolidated instrument without the need for many instruments and experiments that may be cost prohibitive.
Fremskritt i forståelsen av optiske materialer 1,3,4,6,7,10,13-16 har gitt ny innsikt i etableringen av tynnfilm materialer for en rekke optiske enheter, inkludert antireflection belegg på linsene, høy utryddelse ratio optisk filtre og svært absorberende skive bølgeledere 17. Disse fremskritt ville ikke være mulig uten bruk av mange karakteriseringsteknikker, slik som ellipsometry 4,6,18, kontaktvinkelmåling, atomkraftmikroskopi 7,11,19, og scanning / transmisjons-elektronmikroskopi, som bistår i iterativ forbedring av disse teknologiene ved å gi direkte tiltak eller indirekte beregninger av grunnleggende optiske materialegenskaper. Nevnte egenskaper, slik som brytningsindeksen, styrer hvordan materialene samhandler med innfallende fotoner, som direkte påvirker deres funksjon og deres anvendelse i optiske anvendelser. Men hver av disse teknikkene har begrensningene knyttet til vedtaketsjon, prøveopparbeidelse, kostnader og kompleksitet, og hver genererer bare et delsett av dataene som trengs for å fullkarakterisere materialet. Når det er sagt, et nytt sett med teknikker, kjent som flyktige feltbaserte photoacoustics (EFPAs) 5,6,15,18,20-49 som vist i figur 1, har potensialet til å estimere materialegenskaper på nanoskala i en konsolidert sett av eksperimenter. EFPA omfatter under teknikker for total intern refleksjon fotoakustisk spektroskopi (TIRPAS) 23,25,26,33-35,43-45, fotoakustisk spektroskopi / total intern refleksjon fotoakustisk spektroskopi refraktometri (PAS / TIRPAS refraktometri) 18, og optisk tunneling fotoakustisk spektroskopi (OTPAS) 6, og har vært brukt til å estimere bulk og tynn film brytningsindeks, filmtykkelsen, så vel som å detektere absorberende materiale på et prisme / prøve eller substrat / prøve-grensesnittet.
For å forstå den EFPAs mekanisme, enmå først forstå konseptet med fotoakustisk spektroskopi (PAS), som refererer til generering av ultrasoniske trykkbølger ved den raske thermoelastic utvidelse av en kromofor, etter absorpsjon av en ultra-kort (<usek) lyspuls (figur 1). Teoretisk og matematisk rammeverk for foto-akustiske effekt omtalt i denne artikkelen kan fås her 50-59. Den resulterende trykkendring kan påvises ved hjelp av en ultralyd-mikrofonen eller transduser. Den fotoakustisk effekt, opprinnelig oppdaget i 1880 med oppfinnelsen av Alexander Graham Bell photophone, ble "gjenoppdaget" i begynnelsen av 1970-tallet på grunn av fremskritt i laser og mikrofonteknologi, og til slutt satt i praktisk bruk for å fylle nisje applikasjoner fra biomedisinsk bildebehandling til tynn film analyse til ikke-destruktiv testing av materialer. 1,53-57,59-82 Denne effekt kan matematisk beskrives med en-dimensjonal bølgeligninger, karakterisert ved at the bølge er en enkel akustisk kilde hvis trykk (p) varierer både i posisjon (x) og tid (t):
med løsninger for enkle akustiske kilder av formen 64
hvor p er trykk, Γ = αv s 2 / C p hvor α er volumet varmeutvidelseskoeffisient, er v s lydhastigheten i mediet, og Cp er varmekapasiteten ved konstant trykk, H 0 er den strålingseksponering av laserstrålen, er c lydhastigheten i den eksiterte medium, x er lengden, og t er tid. Størrelsen av den resulterende akustiske bølgen er avhengig direkte på den optiske absorpsjonskoeffisienten av materialet, g a, wjør er den inverse av den optiske penetreringsdybden, δ, som igjen er et mål på avstanden lyset går før det faller til 1 / e av den opprinnelige optiske intensiteten. Selv om ligning (1) er en generell likning for en en-dimensjonal plan bølgekilde, vil typisk dempere avgi en sfærisk akustisk bølge i tre dimensjoner. Utover den matematiske beskrivelsen, anvendelser av den foto-akustiske effekt 54 spenn mange bildediagnostikk som mikroskopi, CT, og til og med molekyl avbildning på grunn av den foto-akustiske effekt som har høy følsomhet på grunn av den store optiske absorpsjon på grunn av den naturlig foreliggende kromofor hemoglobin. Andre anvendelser av foto-akustiske effekt selv inkluderer estimering av ulike tynnfilm egenskaper 15,16,20,21,24,26-32,36-39,41,42,56,83,84. Imidlertid, PAS har visse begrensninger: (1) sitt omfattende optiske inntrengningsdybde eliminerer evnen til å sondere nærfeltet optiske egenskaper ved flatene (2) dets effektivitet til å fange den utsendte akustiske energi er lav på grunn av sfærisk spredning av mesteparten av energien bort fra detektoren (3) prøver må inneholde kromoforer i bølgelengde regimet under vurdering.
Når det kombineres med svinnende feltbaserte teknikker, men mange av disse begrensningene kan bedres. Det flyktige feltet oppstår når en lysstråle undergår total indre refleksjon (TIR), som beskrevet av Snells lov, som bevirker også tillater fiberoptiske bølgeledere for å lede lys store avstander (km) for beregning og telekommunikasjonsapplikasjoner. Ved praktiske anvendelser, er det flyktige feltet brukes i en rekke av karakterisering og bildebehandling teknologier, inkludert attenuert total refleksjonsspektroskopi (ATR). Imaging oppnås med høy kontrast på grunn av innesperring av lyset til i løpet av de første få hundre nanometer til prøven av interesse. Det flyktige feltet skjer i form av en exponentially råtnende felt som strekker seg inn i det ytre medium til en optisk penetreringsdybde som er typisk i størrelsesorden av den bølgelengde som brukes (vanligvis ~ 500 nm eller mindre), som vist i ligningene 3 og 4.
hvor I er lysintensiteten i% ved et sted z fra prismet / prøve grensesnitt, er jeg 0 innledende lysintensiteten i% ved grenseflaten, z er avstanden i nanometer, og δ p er den optiske inntrengningsdybde, som vist i ligning 4. med en slik liten optisk inntrengningsdybde, er det flyktige feltet i stand til å samhandle med omgivelsene meget nær grenseflaten mellom de to materialer, og vel under de optiske og akustiske diffraksjon grenser. De optiske egenskaper av materialer eller partikler innenfor dette område kan forstyrre feltet eller på annen måte endre sin generasjon, som interaksjon kan bli detektert ved en rekke metoder 3,5,6,10,15,17,18,21,23,25-27,29-47,84-95.
Når evanescent teknikker kombineres med PAS, kan den foto-akustiske bølgeformer frem anvendes for å karakterisere materialer eller partikler som vekselvirker med det flyktige feltet, skaper det flyktige felt basert photoacoustics (EFPAs) familie av teknikker, som vist i figur 1. Denne familie innbefatter, men er ikke begrenset til, total indre refleksjon fotoakustisk spektroskopi (TIRPAS), optisk tunnelefotoakustisk spektroskopi (OTPAS), og overflate-plasmonresonans fotoakustisk spektroskopi (SPRPAS). Den interesserte leser henvises til følgende referanser for avledninger av ligningene som brukes for TIRPAS 5,6,18,23,25,26,33-35,43-47, PAS / TIRPAS refraktometri 18, og OTPAS 6. I hvert tilfelle blir den foto-akustiske effekt generert gjennom en annen mekanisme enn eksitasjon enkel transmisjon gjennom et prisme; for eksempel i TIRPAS, er lyset evanescentlykoblet gjennom et prisme / substrat / sample-grensesnittet inn i kromoforer (som kan omfatte prøvematerialet i seg selv, eller gjestemolekyler i prøven), mens i SPRPAS, den primære modusen for magnetisering er i stedet gjennom absorpsjon av en overflate plasmon, som er en sekundær EM bølge opprettes når energien av det flyktige feltet blir overført til elektronskyen av et metall-lag avsatt på prismeoverflaten. Denne familien av teknikker ble opprinnelig oppfunnet i 1980 av Hinoue et al., Og forbedres ved T. Inagaki et al. Med oppfinnelsen av SPRPAS, men så lite utvikling på grunn av tekniske begrensninger i lyskilder og tilgjengelig deteksjonsutstyr . Mer nylig har tidligere undersøkelser vist at økte følsomhet og verktøyet er mulig med moderne polyvinylidenfluorid (PVDF) ultrasoniske detektorer og Q-svitsjet neodym-dopet yttrium-aluminium-granat (Nd: YAG) laser. Nærmere bestemt, nanosekund-pulset Nd: YAGlasere resultere i en 10 seks gangers økning i den spisseffekt, noe som gjør det mulig EFPAs teknikker for å bli nyttige verktøy for å evaluere de optiske egenskapene til en rekke materialer og grensesnitt 5,6,15,18,21-29,31-47,84 , 96. I tillegg har tidligere arbeid videre vist evnen av slike teknikker for å bestemme strukturell informasjon om materialet på en grenseflate, som var tidligere ikke oppnåelig med tradisjonelle fotoakustisk spektroskopi (PAS) teknologier på grunn av deres forholdsvis stor inntrengningsdybde 53,55,57,59, 61,62,69,73,75,80,81.
Denne funksjonen er vist i protokollene som følger under OTPAS teknikk; imidlertid, på en mer grunnleggende de tre teknikkene som hver er avhengige av en annen definitiv ligning, som bestemmer egenskapene til teknologien. For eksempel, i TIRPAS, den optiske inntrengningsdybden av det svinnende felt, δ 'p, som driver første rekke den resulterende akustiskesignalintensitet til et absorberende prøve, og er beskrevet av:
hvor λ 1 er bølgelengden for lys som forplanter seg gjennom prismet medium og er definert ved relasjonen λ 1 = λ / n 1, hvor n er en brytningsindeks av prismet materiale. I tillegg refererer θ til vinkelen for eksitasjon, og n 21 refererer til forholdet mellom brytningsindeksene for hvert medium, og er definert ved n = 21 n 2 / n 1, hvor n2 er brytningsindeksen for prøvematerialet. Jo større den optiske penetrasjonsdybden, er det mer materiale som bestråles. For den foto-akustiske effekt er, desto større den optiske penetreringsdybden, jo mer materiale blir eksitert som kan frembringe akustiske bølger som fører til en større akustisk signal.
<pclass = "jove_content"> I motsetning TIRPAS men i PAS / TIRPAS refraktometri primær ligningen er Snell lov:hvor n 1 er brytningsindeksen for prismet, θ 1 er innfallsvinkelen på prismet / prøve grensesnitt, n2 er brytningsindeksen for prøven, og θ 2 er vinkelen for det lys som brytes gjennom den annen medium. Følsomheten for estimering av brytningsindeksen for et materiale er primært drevet av nøyaktigheten av beregningen av θ 1. I total indre refleksjon, noe som oppnås når θ 1 er utenfor den kritiske vinkel som genererer et flyktig felt, sin θ 2 = 1 og derfor ligning 5 reduseres til n 2 = n 1 sinG en. (Merk: θ 1 =θ kritisk) kjenne vinkelen ved hvilken numeriske deriverte (dP / dθ hvor P er topp-til-topp spenning av den foto-akustiske signalet og θ er innfallsvinkelen for lyset med prøven) av den foto-akustiske signalet har en lokal minima tillater for estimering av θ en som gjør det mulig for brukeren å løse for n 2, og dermed anslå massebrytningsindeksen for en prøve som er vist i figur 1.
Til slutt, i OTPAS, den følgende ligning gjelder optisk overføring i% til fotoakustisk topp-til-topp spenning av:
hvor T er den prosent optisk overføring, p er topp-til-topp spenning som genereres av den vinkelspektrum av et substrat med en film på den, er p 0 er topp-til-topp spenning som genereres av vinkelspektrum ofa substrat, er β koblingskonstanten basert på brytningsindeksen for prisme og nedsenking olje, er α dempningsfaktoren, og er en faktor som inkluderer tykkelse og brytningsindeks for prøven filmen innenfor det flyktige feltet. Følsomheten av denne teknikken for å tykkelse og brytningsindeks er drevet av nøyaktigheten av estimering av topp til topp akustiske signalintensitetene, p og p 0 ved hver innfallsvinkel i vinkelspektrum. Det har vist seg at β direkte kan beregnes basert på de brytningsindeksene for prismet og nedsenking olje; følgelig er det en enkel oppgave å beregne den optiske overføring ved hver innfallsvinkel og deretter trekke ut et estimat for brytningsindeksen og tykkelsen av filmen gjennom statistisk analyse kurvetilpasning. Den interesserte leser henvises til Goldschmidt et al. For mer informasjon. 5,6
Than EFPA system er et fotoakustisk baserte system i stand til å estimere tykkelsen, tynn film brytningsindeks, bulkbrytningsindeks, og generering av akustiske signaler gjennom optiske absorpsjon for deteksjon. Systemet består av en laser, et optisk tog lede lyset til prismet / prøve og til laserenergimåling side. Laserenergimåling side blir brukt til å normalisere den foto-akustiske signalet til den innfallende laserenergi som vist i figur 2. EFPAs system er drevet av en trinnmotor driver til å rotere prisme / utvalget for vinkel spektra i PAS / TIRPAS refraktometri og OTPAS . Systemet henter data via en digital oppkjøpet kort og gir et brukergrensesnitt og automatisert scenen kontroll gjennom en i huset program.
The use of devices for the characterization of materials at the nanoscale will undoubtedly continue far into the future in order to produce new materials and combinations of materials to solve difficult and costly societal problems. Many methods such as ellipsometry, atomic force microscopy (AFM), and traditional photoacoustics are currently used to evaluate material properties at the nanoscale despite their inherent limitations due to few alternatives. EFPA shows promise as a consolidated set of techniques that can push beyond the typical limitations of the photoacoustic effect to provide a single instrument to characterize materials at the nanoscale.
The protocol described herein and its associated sub-techniques have the capability to estimate both bulk and thin film refractive indices of a material, film thickness, and have detection capabilities for a variety of biosensing applications. OTPAS specifically has the advantage that it can estimate the thickness and refractive index of nanometer scale films despite the fact that the films themselves do not contain inherently absorbing pigmentation. EFPA as a consolidated set of techniques has a few advantages over techniques such as ellipsometry, atomic force microscopy, and the traditional photoacoustic effect. The first advantage is that EFPA is comparatively inexpensive to set up. A typical EFPA setup can estimate refractive index from both the bulk and surface, can estimate thickness, and can probe absorbing materials and will cost around $5,000 to set up. In contrast, AFM setups cost around $50,000 and cannot estimate optical properties. Secondly, EFPA can estimate these properties within a few minutes without complex interaction such as in ellipsometry where input parameter error can cause differences in results. Finally, EFPA, when compared to the traditional photoacoustic effect, has axial resolution 100X smaller as it can estimate thickness of 200 nm films6 whereas the traditional photoacoustic effect is limited to 7,500 nanometers when using similar lasers and setup82. Conveniently, almost every material has independent and differing surface and bulk refractive index properties as well as absorptive properties, which collectively make for functional differences in their use in optical research systems.
Critical steps within the protocol come down to three primary considerations. First, optical coupling of the sample, whether that be a liquid or a film, is crucial to obtain reliable and repeatable results. Air bubbles within the immersion oil or sample will lead to inaccurate characterization of the thickness, refractive index, and in some cases a complete lack of sensitivity of the transducer to the excited sample owing to the inability of ultrasound to adequately pass through a liquid/air interface due to vastly differing acoustic impedance values. Second, with regard to OTPAS, a sample that is homogeneously thick in the area irradiated by the laser beam in order to provide consistent thickness values during scanning since as of yet EFPA cannot determine thickness differences within the area of excitation. Finally, again with regard to OTPAS, the sample film must be transparent to the wavelength being used. This is a fundamental assumption made in the mathematical equations that describe how OTPAS finds thickness and refractive index values. If absorption is substantial enough that more than 1% of the incident light is absorbed by the film, characterization will not match the real thickness and refractive index values of the film.
Modifications to the EFPA technique can be made with relative ease and other types of components can be substituted in for more effective scans or functionality. The only major issues that have to be addressed when building an EFPA system are the following. First, it is crucial to have a method of automatically rotating a prism mount and acquiring acoustic signals at small (0.05 degree) increments. Second, having a nanosecond pulse width or shorter laser system to excite samples using the photoacoustic effect. Third, having a graphical user interface or program to acquire the data to do mathematical curve fitting and numerical derivatives for estimating thickness and bulk/thin film refractive index.
There are three fundamental limitations to EFPA. The first is that in order to find the bulk refractive index, thin film refractive index, thickness, or detect materials using TIRPAS, the sample must have a refractive index that is less than that of the prism or substrate it is in contact with so that total internal reflection can occur which is the basis of all three of these techniques. The second limitation is that EFPA currently requires physical contact in order to estimate thickness, refractive index, and for detection of properties. The final limitation is that OTPAS, a sub-technique of EFPA, currently requires optically transparent materials to estimate thickness and refractive index of the thin film of interest.
This type of consolidated instrument could find many applications in characterization environments including research cores and industrial environments. Future work regarding EFPA techniques is focused on the improvement of the refractive index accuracy through improvements in instrumentation and translational/rotational stages. Additional advancements will focus around the improvement of signal-to-noise ratio for the detection of smaller quantities of absorbing materials, so as to characterize weakly absorbing materials, as are found most commonly in biological systems.
The authors have nothing to disclose.
Dette prosjektet ble finansiert av National Science Foundation brige Award (1.221.019).
100 mm plano convex lens | Thorlabs | LA1509 | Plano convex lens for beam expander |
-30 mm plano concave lens | Thorlabs | LC2679 | Plano concave lens for beam expander |
10 MHz Ultrasonic transducers | Harisonic | I31006T | Ultrasonic sensors used for photoacoustic detection, both for laser energy measurement and for OTPAS mount |
Immersion oil Type A | Cargille | 16482 | Index of 1.519 to match that of NBK-7 substrates |
Natural latex rubber sheet (red) | McMastercarr | 86085K11 | Index ~1.519 to match that of Type A immersion liquid to act as an optical absorber to measure optical tunneling and laser energy |
Laser goggles | VERE | 53 | Used to protect eyes from laser light |
Cage mounted non polarizing beam splitter cube | Thorlabs | CM1-BS013 | Split laser light so that one half can be measured and one half can be used for excitation |
Cage mounted polarizing beam splitter cube | Thorlabs | CM1-PBS251 | Ensure light is polarized before being used for optical tunneling experiments |
Graduated ring activated iris diaphragm | Thorlabs | SM1D12C | Cut beam down to a smaller size for alignment |
Data acquisition card | National Instruments | USB-5133 | USB oscilloscope to acquire data |
Stepper motor driver | National Instruments | MID-7604 | Stepper motor driver to drive stepper motors for angular spectra |
Sherline XY stage (14”) | Sherline | 5600-CNC/5610-CNC | Sherline XY stage |
4-jaw self centering chuck | Sherline | 1076/1034 | Sherline rotational attachment |
Right angle attachment | Sherline | 3701 | Right angle attachment to attach rotational mount |
CNC rotary table | Sherline | 8730 | Rotary table for holding OTPAS prism/sample |
Surelite I-20 laser system | Continuum | I-20 | Q-switched Nd:YAG laser for exciting samples |
NBK-7 prism | Thorlabs | PS911 | Right angle prism for EFPA |
Adjustable torque wrench | Tohnichi | RTD40Z | Adjustable torque wrench to equally tighten down the EFPA mount for each technique to 16.75 g/mm |
Digital level | Micromark | 84519 | Digital level to ensure EFPA prism holder starts at 0 degrees. |