Waiting
로그인 처리 중...

Trial ends in Request Full Access Tell Your Colleague About Jove
JoVE Journal
Engineering

JoVE 비디오를 활용하시려면 도서관을 통한 기관 구독이 필요합니다. 전체 비디오를 보시려면 로그인하거나 무료 트라이얼을 시작하세요.

Fabrikasjon av Surface Acoustic Wave-enheter på Litium Niobate
 
Click here for the English version

Fabrikasjon av Surface Acoustic Wave-enheter på Litium Niobate

Article DOI: 10.3791/61013-v 07:55 min June 18th, 2020
June 18th, 2020

챕터

요약

Please note that all translations are automatically generated.

Click here for the English version.

To fabrikasjonsteknikker, lift-off og våt etsing, er beskrevet i å produsere interdigitale elektrodetransdusere på et piezoelektrisk substrat, litiumniobate, mye brukt til å generere overflateakustiske bølger som nå finner bredt verktøy i mikro til nanoskalavæske. De som produserte elektrodene er vist å effektivt indusere megahertz rekkefølge Rayleigh overflate akustiske bølger.

Tags

Engineering acoustofluidics overflate akustiske bølger litium niobate interdigitale transdusere lift-off våt etsing
Read Article

Get cutting-edge science videos from JoVE sent straight to your inbox every month.

Waiting X
Simple Hit Counter