Journal
/
/
تصنيع رقاقة ذات نقوش دقيقة بسماكة يتم التحكم فيها للفحص المجهري الإلكتروني المبرد عالي الإنتاجية
JoVE 신문
공학
JoVE 비디오를 활용하시려면 도서관을 통한 기관 구독이 필요합니다.  전체 비디오를 보시려면 로그인하거나 무료 트라이얼을 시작하세요.
JoVE 신문 공학
Fabrication of Micro-Patterned Chip with Controlled Thickness for High-Throughput Cryogenic Electron Microscopy
DOI:

07:20 min

April 21, 2022

, , ,

Chapters

  • 00:04Introduction
  • 00:55Pattern the Photoresist and Silicon Nitride‐Deposited Si Wafer (SixNy)
  • 02:31Etching the Si and Eliminating the KOH Etching Residues
  • 03:21Prepare the Micro‐Patterned SixNy and Eliminate the PR
  • 04:25Transfer Graphene Oxide (GO) by the Drop‐Casting Method
  • 05:30Results: Analysis of the Micro‐Patterned Chip with GO Windows
  • 06:35Conclusion

Summary

자동 번역

يتم تصنيع رقاقة صغيرة منقوشة تم تطويرها حديثا مع نوافذ أكسيد الجرافين من خلال تطبيق تقنيات النظام الكهروميكانيكي الدقيق ، مما يتيح التصوير المجهري الإلكتروني المبرد الفعال وعالي الإنتاجية لمختلف الجزيئات الحيوية والمواد النانوية.

Related Videos

Read Article