Deposition of Bi₂Te₃ and Sb₂Te₃ Thin Films on Glass Substrates via RF Sputtering

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El manuscrito describe un protocolo para la pulverización catódica de magnetrón de radiofrecuencia de películas delgadas termoeléctricas Bi₂Te₃ y Sb₂Te₃ sobre sustratos de vidrio, que representa un método de deposición confiable que proporciona una amplia gama de aplicaciones con potencial para un mayor desarrollo.