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Characterization of SiN Integrated Optical Phased Arrays on a Wafer-Scale Test Station

Caracterização de arrays em fases ópticas integradas siN em uma estação de teste em escala de wafer

DOI:
10.3791/60269-v

•

05:57 min

•

April 01, 2020

•

, , , , , ,
1University Grenoble Alpes and CEA, LETI, Minatec Campus

Capítulos

  • 00:05Introduction
  • 00:36Optical Coupling: Fiber Alignment
  • 01:25Optical Coupling: Optical Phase Array (OPA) Output Imaging
  • 02:14Beam Optimization and Steering
  • 04:05Beam Divergence Measurement Imaging
  • 04:30Results: Representative Silicon Nitride (SiN) Integrated OPA Characterization
  • 05:20Conclusion

Summary

Tadução automática

Tadução automática

Aqui, descrevemos o funcionamento de um circuito fotônico integrado SiN contendo matrizes ópticas em fases. Os circuitos são usados para emitir raios laser de baixa divergência no infravermelho próximo e guiá-los em duas dimensões.

Tags

Keywords: SiN Integrated Optical Phased ArraysWafer-scale CharacterizationAutomated TestingBeam-steering CircuitsProber StationGrating CouplerFar-field ImagingPhase ControlBeam SteeringRing Resonators

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