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Fabricación de dispositivos de ondas acústicas de superficie en niobato de litio
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Capítulos
- 00:04Introduction
- 00:28SAW Device Fabrication Via Lift-Off Method
- 03:21SAW Device Fabrication Via Wet Etching Method
- 05:59Results: SAW Devices Generate Surface Acoustic Waves
- 07:18Conclusion
Dos técnicas de fabricación, despegue y grabado húmedo, se describen en la producción de transductores de electrodos interdigitales sobre un sustrato piezoeléctrico, niobato de litio, ampliamente utilizado para generar ondas acústicas superficiales que ahora encuentran una amplia utilidad en fluidos micro a nanoescala. Los electrodos producidos se muestran para inducir eficientemente las ondas acústicas superficiales de Rayleigh de orden de megahercios.
