Summary

Herstellung von Kohlenstoff-Nanoröhrchen Hochfrequenztechnik Nanoelectronic Biosensor für Sensing in hoher Ionenstärke Lösungen

Published: July 22, 2013
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Summary

Wir beschreiben die Herstellung von Vorrichtungen und Messprotokoll für Kohlenstoff-Nanoröhrchen basierenden Hochfrequenz Biosensoren. Die Hochfrequenz-Sensortechnik mildert die grundlegenden ionische (Debye) Screening-Effekt und ermöglicht Nanoröhrchen Biosensor in hoher Ionenstärke Lösungen, bei denen herkömmliche elektronische Biosensoren nicht betrieben werden. Unsere Technologie bietet eine einzigartige Plattform für die Point-of-Care (POC) elektronischen Biosensoren, die in physiologisch relevanten Bedingungen.

Abstract

Die einzigartigen elektronischen Eigenschaften und eine hohe Oberflächen-zu-Volumen-Verhältnisse von einwandigen Kohlenstoff-Nanoröhren (SWNT) und Halbleiter-Nanodrähten (NW) 1-4 machen sie gute Kandidaten für hohe Empfindlichkeit Biosensoren. Wenn ein geladenes Molekül solchen Sensors Oberfläche bindet, verändert sie die Ladungsträgerdichte 5 in den Sensor, was zu Änderungen in der Leitfähigkeit DC. Jedoch in einer ionischen Lösung eine geladene Oberfläche zieht auch Gegenionen aus der Lösung, Bilden einer elektrischen Doppelschicht (EDL). Das EDL effektiv abschirmt die Ladung, und in physiologisch relevanten Bedingungen ~ 100 Millimol (mM), die charakteristische Ladung Abschirmlänge (Debye-Länge) ist weniger als ein Nanometer (nm). So in hoher Ionenstärke Lösungen, wird die Ladung auf (DC)-Erkennung fundamental 6-8 behindert.

Wir überwinden Ladung Screening-Effekte durch den Nachweis molekularer Dipole anstatt Gebühren bei hoher Frequenz, durch Betätigen Kohlenstoff NanotUbe Feldeffekttransistoren Hochfrequenzmischer 9-11. Bei hohen Frequenzen kann die AC Antriebskraft nicht mehr überwinden Lösung Drag und die Ionen in der Lösung nicht über genügend Zeit, um die EDL zu bilden. Ferner ermöglicht Frequenz Mischtechnik uns bei Frequenzen hoch genug, um ionische Screening überwinden betreiben, und doch erkennt die Messsignale bei niedrigeren Frequenzen 11-12. Außerdem stellt der hohe Transkonduktanz SWNT-Transistoren eine interne Verstärkung für das Messsignal, das die Notwendigkeit für externe Signalverstärker vermeidet.

Hier beschreiben wir das Protokoll auf (a) herzustellen SWNT Transistoren, (b) Funktionalisierung von Biomolekülen an das Nanoröhrchen 13, (c) entwerfen und stempeln eine Polydimethylsiloxan (PDMS) mikrofluidischen Kammer 14 auf das Gerät, und (d) Durchführung hochfrequente Abtastung in verschiedenen Ionenstärke Lösungen 11.

Introduction

Wenn ein geladenes Molekül zu einem SWNT oder NW elektronischen Sensor bindet, kann es entweder spenden / Elektronen aufnehmen oder fungieren als lokale elektrostatische Tor. In jedem Fall kann das gebundene Molekül die Ladungsdichte im SWNT oder NW Kanal zu ändern, was zu einer Änderung der gemessenen DC Leitfähigkeit des Sensors. Eine große Vielfalt von Molekülen 15-20 wurden erfolgreich durch das Studium DC Eigenschaften der Nanosensoren während solche Bindung Ereignisse erkannt. Obwohl Charge-Erkennung basiert Fühlmechanismus hat viele Vorteile, einschließlich Label-Detektion 21, Femto-Mol-Empfindlichkeit 22 und elektronischen Auslesen Fähigkeit 15; es ist nur wirksam in niedriger Ionenstärke Lösungen. In hoher Ionenstärke Lösungen, DC Erkennung durch ionische Screening 6-8 behindert. Einer geladenen Oberfläche zieht Gegenionen aus der Lösung, die einen elektrischen Doppelschicht (EDL) nahe der Oberfläche bildet. Die EDL effektiv abschirmt diese Gebühren. Wie ter Ionenstärke der Lösung erhöht, wird die EDL schmaler und die Abschirmung erhöht. Dieses Screening-Effekt wird durch die Debye-Screening Länge λ D gekennzeichnet,

Gleichung 1
, Wobei ε die Dielektrizitätskonstante des Mediums ist, k B die Boltzmann-Konstante, T die Temperatur ist, q die Elektronenladung ist, und c die Ionenstärke der Elektrolytlösung. Für eine typische 100 mM Pufferlösung ist λ D etwa 1 nm und das Oberflächenpotential vollständig in einem Abstand von wenigen nm abgeschirmt werden. Als Ergebnis arbeiten die meisten nanoelektronischer Sensoren SWNTs oder Nanodrähte basierend entweder im trockenen Zustand 20 oder in geringer Ionenstärke Lösungen 5,15,17,21-22 (c ~ 1 nM- 10 mm), da sonst die Probe muss unterziehen Entsalzung Schritte 15,23. Point-of-Care-Diagnostik-Geräte müssen in physiologisch relevanten Ionenstärken bei Patienten vor Ort arbeiten mit begrenzten Stichprobe Verarbeitungskapazität. Daher ist mildernde ionischen abschirmende Wirkung kritisch für die Entwicklung und Umsetzung von POC nanoelektronische Biosensoren.

Wir begegnen der ionischen Abschirmwirkung durch Betätigen SWNT basierte Nanoelektronik Sensor Megahertz-Frequenzbereich. Das Protokoll hier zur Verfügung gestellten Informationen die Herstellung eines SWNT Transistor basierend nanoelektronische Sensing Plattform und Hochfrequenz-Messung Mischen für Biomolekulare Erkennung. Die einwandigen Kohlenstoff-Nanoröhren durch chemische Gasphasenabscheidung auf Substraten mit Fe Katalysatoren 24 gemustert gewachsen. Für unsere SWNT-Transistoren beziehen wir ein suspendierter Top-Gate 25 gelegt 500 nm über der Nanoröhrchen, die Verbesserung der Hochfrequenz-Sensor Reaktion hilft und ermöglicht eine kompakte micro-Fluidkammer, um die Vorrichtung abzudichten. Die SWNT Transistoren als Hochfrequenzmischer 9-11 betrieben, um die Hintergrund-Screening ionische Effekte zu überwinden. Bei hohen Frequenzen haben die mobilen Ionen in der Lösung nicht genügend Zeit, um die EDL zu bilden, und die schwankenden molekularbiologische Dipole kann immer noch das Tor SWNT eine Vermischung Strom, der unsere Messsignal zu erzeugen. Frequenzumsetzer entsteht durch die nichtlineare IV Eigenschaften einer Nanoröhre FET. Unsere Erkennung Technik unterscheidet sich von den herkömmlichen Techniken zur Verfügung basierte Erkennung und Impedanzspektroskopie 26-27. Erstens erkennen wir molekularbiologische Dipole bei hohen Frequenzen eher als die zugehörigen Kosten. Zweitens stellt die hohe Transkonduktanz SWNT-Transistor eine interne Verstärkung des Meßsignals. Dies vermeidet die Notwendigkeit für externe Verstärkung als bei hoher Frequenz Impedanzmessungen. In jüngster Zeit haben auch andere Gruppen molekularbiologische Nachweis in hoher ba angesprochenckground Konzentrationen 23,28. Allerdings sind diese Methoden mehr beteiligt, die komplexe Herstellung oder vorsichtig Chemieingenieurwesen der Rezeptor-Moleküle. Unsere Hochfrequenz SWNT Sensor verfügt über eine einfachere Konstruktion und nutzt die inhärente Frequenzmischung Eigenschaft einer Nanoröhrchen-Transistor. Wir sind in der Lage, die ionischen Screening Auswirkungen zu mildern, so verspricht eine neue Biosensor-Plattform für Echtzeit-Point-of-care-Erkennung, wo Biosensoren funktionieren direkt in physiologisch relevanten Bedingungen sind erwünscht.

Protocol

1. Katalysator für Patterning SWNT Wachstum Beginnen mit einem Silizium-Wafer mit einer chemischen Niederdruck-Gasphasenabscheidung (CVD) 500 nm Si 3 N 4/500 nm SiO 2-Schicht auf der Oberseite gezüchtet. Spin Mantel eine Schicht aus Fotolack (PR) bei 500 rpm für 5 Sekunden und dann 4.000 rpm für 40 sec. Backen Sie den Wafer bei 115 ° C für 90 sec. Verwenden Sie eine Photomaske mit rechteckigen Gruben für Katalysatoren (Abbildung 1)<…

Representative Results

Ein Rasterelektronenmikroskop-Aufnahme von SWNT Transistor mit einer Bewährungsstrafe Top-Gate ist in Abbildung 7a gezeigt. Die Gate-Dimensionen sind entscheidend für die Aufhängung 25. Der gegenwärtige Entwurf Abmessungen (Länge x Breite x Dicke = 25 um x 1 x um 100 nm). Die Gate-Elektrode besteht aus 50 nm Cr/50 nm Au; eine dicke Chromschicht fügt mehr Kraft ausgesetzt Struktur. Die frei hängende Struktur wird durch die Abwesenheit von Leckstrom zwischen Top-Gate-und Drain (A…

Discussion

Das Wachstum von Kohlenstoffnanoröhren hängt nicht nur von Ofenbedingungen sondern auch Substrat Sauberkeit. Die optimale Gas-Durchfluss, Temperatur und Druck für Wachstum müssen sorgfältig kalibriert und einmal fixiert sie sind mehr oder weniger stabil. Auch bei Erfüllung dieser Bedingungen, fanden wir, dass das Wachstum hängt von der strukturierten Katalysator Bereich, Menge an Katalysator und Substrat Sauberkeit. Daher haben wir mehrere Katalysator Grube Größen zur Berücksichtigung der Variabilität des Wac…

Disclosures

The authors have nothing to disclose.

Acknowledgements

Wir danken Prof. Paul McEuen an der Cornell University für die frühe Diskussion. Die Arbeit wird durch den Start-up-Fonds bieten von der University of Michigan und der National Science Foundation Skalierbare Nanofertigung Program (DMR-1120187) unterstützt. Diese Arbeit verwendet die Lurie Nanofabrication Einrichtung an der Universität von Michigan, ein Mitglied der National Nanotechnology Infrastructure Netzwerk von der National Science Foundation finanziert.

Materials

      REAGENTS
      Reagents which were provided within Lurie Nanofabrication Facility (University of Michigan) are marked as LNF in the catalogue column. Chemicals which require protective equipment (gloves, safety goggles, face mask, apron) and/or fume hood are denoted with PPE in comments section.
Silicon wafers (P-type, <100>, 500-550 μm thick) Silicon Valley Microelectronics    
SPR 220 3.0 Dow (Rohm and Haas) Megaposit SPR PPE
AZ 300MIF AZ Electronic Material Corporation   PPE
Acetone J T Baker 9005-05 PPE
Isopropanol (IPA) J T Baker 9079-05  
Buffered Hydrofluoric Acid Transene   PPE
1-Pyrene Butanoic Acid, succinimidyl ester Molecular Probes P130 PPE
Biotin PEO Amine Thermo Scientific EZ- Link PEG2 Biotin, # 21346 PPE
Streptavidin Invitrogen S 888 PPE
Dimethylformamide MP Biomedicals 0219514791 PPE
Polydimethylsiloxane Elastomer Base and Curing Agent Dow Corning Sylgard 184 Elastomer Kit PPE
SU-8 2015 Microchem Y111064 PPE
SU-8 Developer Microchem Y020100 PPE
Silanizing agent Sigma Aldrich 452807 PPE
Hydrogen Purity Plus LNF  
Ethylene Purity Plus LNF  
Argon Purity Plus LNF  
Phosphate Buffer Saline System Sigma Aldrich PBS1  
      EQUIPMENT
      Equipment provided by Lurie Nanofabrication Facility (University of Michigan) is denoted as LNF in Catalogue column.
GCA 200 Autostepper GCA LNF  
Low Pressure Chemical Vapor Deposition Tool Tempress LNF  
e-beam Evaporator Enerjet LNF  
CNT growth Furnace First Nano Easy Tube 3000 (LNF)  
Photomasks Nanofilm LNF  
Petri dish (150mm)   LNF  
Desiccator Bel-Art F420100000  
Biopsy Punch Ted Pella 15071/78  
Scalpel Ted Pella 548  
Polyethylene Tubing PE-50 VWR 20903-414  
Syringe Pump New Era Pump Systems NE-1000  
Syringe Fisher Scientific BD Safety-Lok Syringes  
Syringe Needles Fisher Scientific 14-821-13A  
DAQ card National Instruments 779111-01  
GPIB connector National Instruments 778032-51  
Lock-in Amplifier Stanford Research Systems SR 830  
Frequency Generator HP Agilent 8648B, 9kHz -2GHz  
Bias Tee Picosecond 5575A-104  
Current Preamplifier DL Instruments, LLC DL 1211  
BNC cables Allied Electronics 665-xxxx  
SMA cables Sentro Tech Corp SCF65141  

References

  1. Dekker, C. Carbon nanotubes as molecular quantum wires. Phys. Today. 52, 22-28 (1999).
  2. McEuen, P. L., Fuhrer, M. S., Park, H. K. Single-walled carbon nanotube electronics. IEEE Transactions on Nanotechnology. 1, 78-85 (2002).
  3. Duan, X. F., Huang, Y., Cui, Y., Wang, J. F., Lieber, C. M. Indium phosphide nanowires as building blocks for nanoscale electronic and optoelectronic devices. Nature. 409, 66-69 (2001).
  4. Cui, Y., Zhong, Z. H., Wang, D. L., Wang, W. U., Lieber, C. M. High performance silicon nanowire field effect transistors. Nano Letters. 3, 149-152 (2003).
  5. Heller, I., Janssens, A. M., et al. Identifying the mechanism of biosensing with carbon nanotube transistors. Nano Letters. 8, 591-595 (2008).
  6. Stern, E., Wagner, R., et al. Importance of the debye screening length on nanowire field effect transistor sensors. Nano Letters. 7, 3405-3409 (2007).
  7. Zhang, G. J., Zhang, G., et al. DNA sensing by silicon nanowire: Charge layer distance dependence. Nano Letters. 8, 1066-1070 (2008).
  8. Sorgenfrei, S., Chiu, C. -. y., Johnston, M., Nuckolls, C., Shepard, K. L. Debye Screening in Single-Molecule Carbon Nanotube Field-Effect Sensors. Nano Letters. 11, 3739-3743 (2011).
  9. Appenzeller, J., Frank, D. J. Frequency dependent characterization of transport properties in carbon nanotube transistors. Applied Physics Letters. 84, 1771-1773 (2004).
  10. Rosenblatt, S., Lin, H., Sazonova, V., Tiwari, S., McEuen, P. L. Mixing at 50 GHz using a single-walled carbon nanotube transistor. Applied Physics Letters. 87, (2005).
  11. Kulkarni, G. S., Zhong, Z. H. Detection beyond the Debye Screening Length in a High-Frequency Nanoelectronic Biosensor. Nano Letters. 12, 719-723 (2012).
  12. Sazonova, V. . A Tunable Carbon Nanotube Resonator. , (2006).
  13. Chen, R. J., Zhang, Y. G., Wang, D. W., Dai, H. J. Noncovalent sidewall functionalization of single-walled carbon nanotubes for protein immobilization. Journal of the American Chemical Society. 123, 3838-3839 (2001).
  14. Duffy, D. C., McDonald, J. C., Schueller, O. J. A., Whitesides, G. M. Rapid prototyping of microfluidic systems in poly(dimethylsiloxane. Analytical Chemistry. 70, 4974-4984 (1998).
  15. Zheng, G. F., Patolsky, F., Cui, Y., Wang, W. U., Lieber, C. M. Multiplexed electrical detection of cancer markers with nanowire sensor arrays. Nature Biotechnology. 23, 1294-1301 (2005).
  16. Star, A., Han, T. R., Gabriel, J. C. P., Bradley, K., Gruner, G. Interaction of aromatic compounds with carbon nanotubes: Correlation to the Hammett parameter of the substituent and measured carbon nanotube FET response. Nano Letters. 3, 1421-1423 (2003).
  17. Besteman, K., Lee, J. O., Wiertz, F. G. M., Heering, H. A., Dekker, C. Enzyme-coated carbon nanotubes as single-molecule biosensors. Nano Letters. 3, 727-730 (2003).
  18. Snow, E. S., Perkins, F. K., Houser, E. J., Badescu, S. C., Reinecke, T. L. Chemical detection with a single-walled carbon nanotube capacitor. Science. 307, 1942-1945 (2005).
  19. Kong, J., Franklin, N. R., et al. Nanotube molecular wires as chemical sensors. Science. 287, 622-625 (2000).
  20. Star, A., Tu, E., et al. Label-free detection of DNA hybridization using carbon nanotube network field-effect transistors. Proceedings of the National Academy of Sciences of the United States of America. 103, 921-926 (2006).
  21. Patolsky, F., Zheng, G. F., Lieber, C. M. Nanowire-based biosensors. Analytical Chemistry. 78, 4260-4269 (2006).
  22. Stern, E., Klemic, J. F., et al. Label-free immunodetection with CMOS-compatible semiconducting nanowires. Nature. 445, 519-522 (2007).
  23. Krivitsky, V., Hsiung, L. -. C., et al. Nanowires Forest-Based On-Chip Biomolecular Filtering, Separation and Preconcentration Devices: Nanowires Do it All. Nano Letters. 12, 4748-4756 (2012).
  24. Kong, J., Soh, H. T., Cassell, A. M., Quate, C. F., Dai, H. J. Synthesis of individual single-walled carbon nanotubes on patterned silicon wafers. Nature. 395, 878-881 (1998).
  25. Liu, G., Velasco, J., Bao, W. Z., Lau, C. N. Fabrication of graphene p-n-p junctions with contactless top gates. Applied Physics Letters. 92, (2008).
  26. Katz, E., Willner, I. Probing biomolecular interactions at conductive and semiconductive surfaces by impedance spectroscopy: Routes to impedimetric immunosensors, DNA-Sensors, and enzyme biosensors. Electroanalysis. 15, 913-947 (2003).
  27. K’Owino, I. O., Sadik, O. A. Impedance spectroscopy: A powerful tool for rapid biomolecular screening and cell culture monitoring. Electroanalysis. 17, 2101-2113 (2005).
  28. Elnathan, R., Kwiat, M., et al. Biorecognition Layer Engineering: Overcoming Screening Limitations of Nanowire-Based FET Devices. Nano Letters. 12, 5245-5254 (2012).
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Cite This Article
Kulkarni, G. S., Zhong, Z. Fabrication of Carbon Nanotube High-Frequency Nanoelectronic Biosensor for Sensing in High Ionic Strength Solutions. J. Vis. Exp. (77), e50438, doi:10.3791/50438 (2013).

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